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磁控溅射镀膜成分偏了如何处理
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| 我用的是BaTiO3的靶材做的磁控溅射镀膜,但是镀出来的膜是Ba2Ti5O12,请问我怎样才能把比例调正确? |
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3楼2011-04-18 16:33:15
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2楼2011-04-18 13:13:21
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4楼2011-04-21 09:35:19
5楼2011-04-22 14:25:43










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