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yss2790

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜成分偏了如何处理

我用的是BaTiO3的靶材做的磁控溅射镀膜,但是镀出来的膜是Ba2Ti5O12,请问我怎样才能把比例调正确?
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-22 14:23:56
降低反应气压,提高反应电压,理论上可以提高单次溅射能量;溅射能量越大,各种元素的溅射速率就越接近
4楼2011-04-21 09:35:19
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-18 16:32:32
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压,增加溅射速度,减少溅射差异
2楼2011-04-18 13:13:21
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yss2790

金虫 (小有名气)

xjajx: 提高电压,降气压 2011-04-18 17:13:12
引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-18 13:13:21:
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压,增加溅射速度,减少溅射差异

请问 “电压降气压”是什么?
3楼2011-04-18 16:33:15
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yss2790

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-21 09:35:19:
降低反应气压,提高反应电压,理论上可以提高单次溅射能量;溅射能量越大,各种元素的溅射速率就越接近

我要做的是BTO,但是出来的是Ba2Ti5O12这个偏得有点大,如何是好啊?
5楼2011-04-22 14:25:43
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