24小时热门版块排行榜    

查看: 1774  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

yss2790

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜成分偏了如何处理

我用的是BaTiO3的靶材做的磁控溅射镀膜,但是镀出来的膜是Ba2Ti5O12,请问我怎样才能把比例调正确?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-22 14:23:56
降低反应气压,提高反应电压,理论上可以提高单次溅射能量;溅射能量越大,各种元素的溅射速率就越接近
4楼2011-04-21 09:35:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-18 16:32:32
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压,增加溅射速度,减少溅射差异
2楼2011-04-18 13:13:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yss2790

金虫 (小有名气)

xjajx: 提高电压,降气压 2011-04-18 17:13:12
引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-18 13:13:21:
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压,增加溅射速度,减少溅射差异

请问 “电压降气压”是什么?
3楼2011-04-18 16:33:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yss2790

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-21 09:35:19:
降低反应气压,提高反应电压,理论上可以提高单次溅射能量;溅射能量越大,各种元素的溅射速率就越接近

我要做的是BTO,但是出来的是Ba2Ti5O12这个偏得有点大,如何是好啊?
5楼2011-04-22 14:25:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 302求调剂 +4 小贾同学123 2026-03-15 8/400 2026-03-17 10:33 by 小贾同学123
[考研] 290求调剂 +6 @将就将就看 2026-03-10 11/550 2026-03-17 10:22 by @将就将就看
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +5 薛云鹏 2026-03-13 5/250 2026-03-17 10:15 by Sammy2
[考研] 302求调剂 +8 负心者当诛 2026-03-11 8/400 2026-03-17 09:05 by 哦哦123
[考研] 机械专硕325,寻找调剂院校 +3 y9999 2026-03-15 5/250 2026-03-16 19:58 by y9999
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 机械专硕调剂 +3 笨笨兔子 2026-03-12 3/150 2026-03-15 20:02 by 栗子粥?
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 材料与化工 323 英一+数二+物化,一志愿:哈工大 本人本科双一流 +4 自由的_飞翔 2026-03-13 5/250 2026-03-14 19:39 by hmn_wj
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-03-13 4/200 2026-03-14 08:37 by zhukairuo
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 332求调剂 +3 zjy101327 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:48 by JourneyLucky
[考研] 0703化学一志愿211 总分320求调剂 +5 玛卡巴卡啊哈 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:40 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-12 5/250 2026-03-13 18:31 by ms629
[考研] 求调剂 +7 18880831720 2026-03-11 7/350 2026-03-13 16:10 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
[考研] 工科调剂 +4 Jiang191123! 2026-03-11 4/200 2026-03-13 15:15 by Miko19
[考研] 296求调剂 +3 大口吃饭 身体健 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:31 by 学员8dgXkO
[考研] 08食品或轻工求调剂,本科发表3篇sci一区top论文,一志愿南师大食品科学与工程 +3 我是一个兵, 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:21 by Yuyi.
[考博] 福州大学杨黄浩课题组招收2026年专业学位博士研究生,2026.03.20截止 +3 Xiangyu_ou 2026-03-12 3/150 2026-03-13 09:36 by duanwu655
信息提示
请填处理意见