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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射镀膜成分偏了如何处理
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yss2790

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜成分偏了如何处理

我用的是BaTiO3的靶材做的磁控溅射镀膜，但是镀出来的膜是Ba2Ti5O12，请问我怎样才能把比例调正确？
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1楼 2011-04-18 10:34:41
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yss2790

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-21 09:35:19:
降低反应气压，提高反应电压，理论上可以提高单次溅射能量；溅射能量越大，各种元素的溅射速率就越接近

我要做的是BTO，但是出来的是Ba2Ti5O12这个偏得有点大，如何是好啊？
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5楼2011-04-22 14:25:43
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-18 16:32:32
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压，增加溅射速度，减少溅射差异
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2楼2011-04-18 13:13:21
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yss2790

金虫 (小有名气)
xjajx: 提高电压，降气压 2011-04-18 17:13:12
引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-18 13:13:21:
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压，增加溅射速度，减少溅射差异

请问 “电压降气压”是什么？
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3楼2011-04-18 16:33:15
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-22 14:23:56
降低反应气压，提高反应电压，理论上可以提高单次溅射能量；溅射能量越大，各种元素的溅射速率就越接近
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4楼2011-04-21 09:35:19
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