应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射镀膜成分偏了如何处理
51/1返回列表
查看: 1706  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

yss2790

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜成分偏了如何处理

我用的是BaTiO3的靶材做的磁控溅射镀膜，但是镀出来的膜是Ba2Ti5O12，请问我怎样才能把比例调正确？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-04-18 10:34:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

依旧笑东风

新虫 (初入文坛)
楼主问题解决了吗？我也遇到了这样的问题，请问你后来是怎么处理的?
赞一下 回复此楼
8楼2018-06-04 16:10:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-18 16:32:32
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压，增加溅射速度，减少溅射差异
赞一下 回复此楼
2楼2011-04-18 13:13:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yss2790

金虫 (小有名气)
xjajx: 提高电压，降气压 2011-04-18 17:13:12
引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-18 13:13:21:
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压，增加溅射速度，减少溅射差异

请问 “电压降气压”是什么？
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-04-18 16:33:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-22 14:23:56
降低反应气压，提高反应电压，理论上可以提高单次溅射能量；溅射能量越大，各种元素的溅射速率就越接近
赞一下 回复此楼
4楼2011-04-21 09:35:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭