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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜 已有12人参与

磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？
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1楼 2011-03-10 12:05:21
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)
就是想看看分别用单质靶镀出来的膜与直接固定比例镀出来的性能比较，再者就是比较调控Al掺杂的含量对性能的影响。
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9楼2011-03-15 11:10:19
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
★
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这个问题没有现成的答案（世界上没有两片相同的树叶，也没有两台相同的溅射设备），lz必须自己做一系列试验，改变溅射参数，再测成分，从而摸索其中的规律。
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江湖背影
2楼2011-03-10 18:29:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
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掺Al的ZnO是N型的，怎么会是P型呢？
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3楼2011-03-10 22:16:54
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huangjiangta

银虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-03-10 12:05:21:
磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？

镀膜我感觉只有工艺 没有 理论
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4楼2011-03-10 22:33:56
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