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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜 已有12人参与

磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶,通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比,但是怎样确定具体的比例,比如我要达到使Al的质量分数为2%,这要怎样控制溅射功率呢?
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

掺Al是n型   但Al-N共掺就是p型了
6楼2011-03-11 09:48:48
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

就是想看看分别用单质靶镀出来的膜与直接固定比例镀出来的性能比较,再者就是比较调控Al掺杂的含量对性能的影响。
9楼2011-03-15 11:10:19
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

是啊,我现在开始做的就是用的2%铝含量的AZO陶瓷靶。
12楼2011-04-07 11:11:49
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