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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜 已有12人参与

磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶,通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比,但是怎样确定具体的比例,比如我要达到使Al的质量分数为2%,这要怎样控制溅射功率呢?
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

掺Al是n型   但Al-N共掺就是p型了
6楼2011-03-11 09:48:48
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查看全部 17 个回答

lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个问题没有现成的答案(世界上没有两片相同的树叶,也没有两台相同的溅射设备),lz必须自己做一系列试验,改变溅射参数,再测成分,从而摸索其中的规律。
江湖背影
2楼2011-03-10 18:29:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
掺Al的ZnO是N型的,怎么会是P型呢?
3楼2011-03-10 22:16:54
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huangjiangta

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-03-10 12:05:21:
磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶,通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比,但是怎样确定具体的比例,比如我要达到使Al的质量分数为2%,这要怎样控制溅射功率呢?

镀膜我感觉只有工艺 没有 理论
4楼2011-03-10 22:33:56
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