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【求助】磁控溅射 ZnO镀膜 已有12人参与
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| 磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？ |
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huangjiangta
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4楼2011-03-10 22:33:56