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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜 已有12人参与

磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？
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1楼 2011-03-10 12:05:21
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diamondli99

木虫 (正式写手)
★ ★ ★
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lpszk(金币+2): 谢谢交流 2011-04-07 14:31:21
你需要对你的设备比较了解，分析出不同靶材对应不同溅射功率时的溅射速率，然后可以通过调整溅射功率来实现两种元素的不同比例配比，当然这种方法还是存在一定的不准确性。为什么要采用Zn靶和Al靶单独溅射，现在比较常见的是直接采用ZnO:Al2O3的靶材溅射？
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8楼2011-03-15 08:31:48
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
★
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这个问题没有现成的答案（世界上没有两片相同的树叶，也没有两台相同的溅射设备），lz必须自己做一系列试验，改变溅射参数，再测成分，从而摸索其中的规律。
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江湖背影
2楼2011-03-10 18:29:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
掺Al的ZnO是N型的，怎么会是P型呢？
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3楼2011-03-10 22:16:54
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huangjiangta

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-03-10 12:05:21:
磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？

镀膜我感觉只有工艺 没有 理论
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4楼2011-03-10 22:33:56
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