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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜 已有12人参与

磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？
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1楼 2011-03-10 12:05:21
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农家仔

铜虫 (小有名气)
★
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确实需要自己测试各个靶的溅射效率，然后画出曲线，根据曲线确定比例。可以确定的是，同一台仪器的不同靶的溅射效率也不一样，呵呵，楼主要做大量的前期工作。
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好吃不懒做
10楼2011-03-16 16:01:05
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
★
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这个问题没有现成的答案（世界上没有两片相同的树叶，也没有两台相同的溅射设备），lz必须自己做一系列试验，改变溅射参数，再测成分，从而摸索其中的规律。
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江湖背影
2楼2011-03-10 18:29:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
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掺Al的ZnO是N型的，怎么会是P型呢？
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3楼2011-03-10 22:16:54
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huangjiangta

银虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-03-10 12:05:21:
磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？

镀膜我感觉只有工艺 没有 理论
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4楼2011-03-10 22:33:56
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