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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】直流溅射电压电流问题求助【重金答谢！】
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】直流溅射电压电流问题求助【重金答谢！】

小弟在用直流溅射沉积金属钛膜。。。起辉后发现直流电流很小，，，但电压很高。。并且直流电流调不上去。。。辉光颜色很淡（正常应为深蓝色金属颜色）。。。不久后辉光就熄灭了

弄了好几天。。重新买了靶材还这样。。。痛苦万分。。。实验没法做。。老板又催得紧

不知道哪位高手能指点一下。。。不甚感激。。。
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1楼 2010-12-16 19:33:04
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