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铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】直流溅射电压电流问题求助【重金答谢！】

小弟在用直流溅射沉积金属钛膜。。。起辉后发现直流电流很小，，，但电压很高。。并且直流电流调不上去。。。辉光颜色很淡（正常应为深蓝色金属颜色）。。。不久后辉光就熄灭了

弄了好几天。。重新买了靶材还这样。。。痛苦万分。。。实验没法做。。老板又催得紧

不知道哪位高手能指点一下。。。不甚感激。。。

1楼 2010-12-16 19:33:04

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铁杆木虫 (小有名气)

我现在也准备做Ti薄膜，期待高手解决楼主提出的困惑。。。

2楼2010-12-19 00:11:22

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新虫 (初入文坛)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

2楼: Originally posted by cugwhgongysh at 2010-12-19 00:11:22
我现在也准备做Ti薄膜，期待高手解决楼主提出的困惑。。。

问题解决没有，我遇到了同样的问题

3楼2018-06-03 10:19:24

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银虫 (正式写手)

怎么解决的

发自小木虫IOS客户端

4楼2020-11-03 13:15:46

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