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【求助】直流溅射电压电流问题求助【重金答谢!】
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jsszwutao
铁杆木虫
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[交流]
【求助】直流溅射电压电流问题求助【重金答谢!】
小弟在用直流溅射沉积金属钛膜。。。起辉后发现直流电流很小,,,但电压很高。。并且直流电流调不上去。。。辉光颜色很淡(正常应为深蓝色金属颜色)。。。不久后辉光就熄灭了
弄了好几天。。重新买了靶材还这样。。。痛苦万分。。。实验没法做。。老板又催得紧
不知道哪位高手能指点一下。。。不甚感激。。。
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2010-12-16 19:33:04
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cugwhgongysh
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我现在也准备做Ti薄膜,期待高手解决楼主提出的困惑。。。
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2010-12-19 00:11:22
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
cugwhgongysh
at 2010-12-19 00:11:22
我现在也准备做Ti薄膜,期待高手解决楼主提出的困惑。。。
问题解决没有,我遇到了同样的问题
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3楼
2018-06-03 10:19:24
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xjian2010
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怎么解决的
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4楼
2020-11-03 13:15:46
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