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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】直流溅射电压电流问题求助【重金答谢！】
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】直流溅射电压电流问题求助【重金答谢！】

小弟在用直流溅射沉积金属钛膜。。。起辉后发现直流电流很小，，，但电压很高。。并且直流电流调不上去。。。辉光颜色很淡（正常应为深蓝色金属颜色）。。。不久后辉光就熄灭了

弄了好几天。。重新买了靶材还这样。。。痛苦万分。。。实验没法做。。老板又催得紧

不知道哪位高手能指点一下。。。不甚感激。。。
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1楼 2010-12-16 19:33:04
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cugwhgongysh

铁杆木虫 (小有名气)

一起讨论

我现在也准备做Ti薄膜，期待高手解决楼主提出的困惑。。。
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2楼2010-12-19 00:11:22
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erhuo他爸

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by cugwhgongysh at 2010-12-19 00:11:22
我现在也准备做Ti薄膜，期待高手解决楼主提出的困惑。。。

问题解决没有，我遇到了同样的问题
赞一下 回复此楼
3楼2018-06-03 10:19:24
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xjian2010

银虫 (正式写手)
怎么解决的

发自小木虫IOS客户端
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4楼2020-11-03 13:15:46
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