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jljjlj_0

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射时的基板问题 已有4人参与

我要做的是:基板-金属-陶瓷薄膜-金属  结构的薄膜电容。请问,磁控溅射时选择不同的基板对淀积的金属薄膜和陶瓷薄膜分别有什么影响??基板与金属间的过渡层如何选择?
如果要了解这些知识,有什么好的参考书么?还是全靠经验?
谢谢啦!!!
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玖月冥

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
个人建议看一下薄膜材料于薄膜技术这本书,上面有关于基底和膜形成的激励的叙述,可以用来参考,我也做磁控溅射的,不过不太考虑电容,有在玻璃上镀铜,在硅片上镀硼等金属和非金属。
4楼2011-08-03 09:43:59
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