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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】磁控溅射时的基板问题
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jljjlj_0

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射时的基板问题 已有4人参与

我要做的是：基板-金属-陶瓷薄膜-金属  结构的薄膜电容。请问，磁控溅射时选择不同的基板对淀积的金属薄膜和陶瓷薄膜分别有什么影响？？基板与金属间的过渡层如何选择？
如果要了解这些知识，有什么好的参考书么？还是全靠经验？
谢谢啦！！！
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1楼 2010-08-04 19:57:12
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