24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1361  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

edmondcarey

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】关于磁控溅射靶材厚度的问题 已有3人参与

最近准备给磁控溅射仪配一个铂靶,由于铂的密度太大,因此重量十分可观,价格动辄十几二十万。。。

不知道有哪些虫虫用过金或者铂靶进行磁控溅射?靶材的最低厚度能多少?
磁控溅射的靶材厚度要求和普通的SEM用的离子溅射有区别么?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

资源

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

无机化学小云

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般2毫米就差不多了。
4楼2013-12-20 09:37:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

kehouwu

银虫 (小有名气)

edmondcarey(金币+2): 2010-07-19 11:38:34
看你是干什么了,如果你是摸索试验条件的而且摸索的次数多的话最好后点,一般4mm厚,如果你就是试一下,1mm~2mm也就差不多了
我用合金靶材因为工艺摸索非常多,一般我取4~6mm厚,但用的时间也不长,两三个月就完了
2楼2010-07-17 16:52:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

edmondcarey

至尊木虫 (著名写手)

靶消耗这么快的啊。6 mm 的铂靶要24万,太贵了~
引用回帖:
Originally posted by kehouwu at 2010-07-17 16:52:20:
看你是干什么了,如果你是摸索试验条件的而且摸索的次数多的话最好后点,一般4mm厚,如果你就是试一下,1mm~2mm也就差不多了
我用合金靶材因为工艺摸索非常多,一般我取4~6mm厚,但用的时间也不长,两三个月就完了

3楼2010-07-19 11:38:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 322求调剂 +7 123安康 2026-04-12 14/700 2026-04-15 21:48 by noqvsozv
[考研] 通信工程求调剂!!! +6 zlb770521 2026-04-14 6/300 2026-04-15 20:00 by 学员JpLReM
[考研] 297,工科调剂?河南农业大学本科 +11 河南农业大学-能 2026-04-14 11/550 2026-04-15 15:03 by 学员JpLReM
[考研] 0854调剂 +13 长弓傲 2026-04-12 16/800 2026-04-15 13:45 by fenglj492
[考研] 272分材料子求调剂 +41 Loy0361 2026-04-10 54/2700 2026-04-14 18:00 by lhj2009
[考研] 化工学硕294分,求导师收留 +32 yzyzx 2026-04-12 36/1800 2026-04-14 17:45 by lhj2009
[考研] 材料专业344求调剂 +17 hualkop 2026-04-10 22/1100 2026-04-14 16:21 by sxdj2
[考研] 279求调剂 +12 张番茄不炒蛋 2026-04-11 12/600 2026-04-14 15:38 by zs92450
[考研] 105500药学求调剂 +4 x_skys 2026-04-12 4/200 2026-04-14 13:37 by rndfc
[考研] 0854调剂 +10 长弓傲 2026-04-11 11/550 2026-04-13 10:38 by wp06
[硕博家园] 新一代电子信息294求调剂 不挑学校 +7 Ytyt11 2026-04-09 8/400 2026-04-12 16:57 by ajpv风雷
[考研] 283求调剂 +22 那个噜子 2026-04-09 22/1100 2026-04-11 10:41 by 逆水乘风
[考研] 311求调剂 +13 xyp想读书 2026-04-10 14/700 2026-04-11 09:41 by 猪会飞
[考研] 282,求调剂 +12 jggshjkkm 2026-04-09 14/700 2026-04-11 09:39 by 猪会飞
[考研] 22408 366分,本科211,一志愿西工大 +4 Rubt 2026-04-09 4/200 2026-04-10 19:51 by chemisry
[考研] 314求调剂 +18 xhhdjdjsjks 2026-04-09 19/950 2026-04-10 18:53 by HPUCZ
[考研] 一志愿矿大,材料工程专硕314分,0856可调都可以 +15 无懈可击的巨人 2026-04-09 15/750 2026-04-10 18:10 by hmn_wj
[考研] 初试261 +3 Asht少 2026-04-10 6/300 2026-04-10 16:38 by Asht少
[考研] 085800 能源动力求调剂 +6 阿biu啊啊啊啊啊 2026-04-10 6/300 2026-04-10 15:03 by hemengdong
[考研] 青岛科技大学材料学院,环境学院调剂补录4月10日以前都可以 +3 1青科大。 2026-04-09 5/250 2026-04-10 09:58 by 翩翩一书生
信息提示
请填处理意见