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edmondcarey至尊木虫 (著名写手)
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【求助】关于磁控溅射靶材厚度的问题已有3人参与
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最近准备给磁控溅射仪配一个铂靶，由于铂的密度太大，因此重量十分可观，价格动辄十几二十万。。。 不知道有哪些虫虫用过金或者铂靶进行磁控溅射？靶材的最低厚度能多少？ 磁控溅射的靶材厚度要求和普通的SEM用的离子溅射有区别么？ |
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2楼2010-07-17 16:52:20
edmondcarey
至尊木虫 (著名写手)
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3楼2010-07-19 11:38:56
4楼2013-12-20 09:37:48