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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 实验技术 » 【求助】关于磁控溅射靶材厚度的问题
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edmondcarey

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】关于磁控溅射靶材厚度的问题 已有3人参与

最近准备给磁控溅射仪配一个铂靶，由于铂的密度太大，因此重量十分可观，价格动辄十几二十万。。。

不知道有哪些虫虫用过金或者铂靶进行磁控溅射？靶材的最低厚度能多少？
磁控溅射的靶材厚度要求和普通的SEM用的离子溅射有区别么？
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1楼 2010-07-15 17:23:30
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kehouwu

银虫 (小有名气)
edmondcarey(金币+2): 2010-07-19 11:38:34
看你是干什么了，如果你是摸索试验条件的而且摸索的次数多的话最好后点，一般4mm厚，如果你就是试一下，1mm~2mm也就差不多了
我用合金靶材因为工艺摸索非常多，一般我取4~6mm厚，但用的时间也不长，两三个月就完了
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2楼2010-07-17 16:52:20
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edmondcarey

至尊木虫 (著名写手)
靶消耗这么快的啊。6 mm 的铂靶要24万，太贵了~
引用回帖:
Originally posted by kehouwu at 2010-07-17 16:52:20:
看你是干什么了，如果你是摸索试验条件的而且摸索的次数多的话最好后点，一般4mm厚，如果你就是试一下，1mm~2mm也就差不多了
我用合金靶材因为工艺摸索非常多，一般我取4~6mm厚，但用的时间也不长，两三个月就完了

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3楼2010-07-19 11:38:56
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无机化学小云

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般2毫米就差不多了。
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4楼2013-12-20 09:37:48
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