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edmondcarey

至尊木虫 (著名写手)

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专业: 生物系统工程研究的新技术

[交流] 【求助】关于磁控溅射靶材厚度的问题已有3人参与

最近准备给磁控溅射仪配一个铂靶，由于铂的密度太大，因此重量十分可观，价格动辄十几二十万。。。

不知道有哪些虫虫用过金或者铂靶进行磁控溅射？靶材的最低厚度能多少？
磁控溅射的靶材厚度要求和普通的SEM用的离子溅射有区别么？

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1楼2010-07-15 17:23:30

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edmondcarey

至尊木虫 (著名写手)

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靶消耗这么快的啊。6 mm 的铂靶要24万，太贵了~

引用回帖:

Originally posted by kehouwu at 2010-07-17 16:52:20:
看你是干什么了，如果你是摸索试验条件的而且摸索的次数多的话最好后点，一般4mm厚，如果你就是试一下，1mm~2mm也就差不多了
我用合金靶材因为工艺摸索非常多，一般我取4~6mm厚，但用的时间也不长，两三个月就完了