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燕子zy

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶短路 已有1人参与

求助磁控溅射的靶枪短路起不了辉可能是什么原因导致的呢,是不是里面的绝缘体坏了,该怎么解决呢
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)

你怎么知道短路了,电源没烧?

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3楼2017-04-28 06:05:45
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wenzhen2011

至尊木虫 (著名写手)

表笔测一下是否导通? 如果确定不导通,通气量可以增大试试 是金属还是氧化物?

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犹叹当年小蛮腰,空余恨,一身五花膘!
2楼2017-04-27 21:32:58
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Friend007

银虫 (知名作家)


一般是阳极罩和靶材短路 解决办法 把阳极罩拆掉 清理一下 重新装上

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4楼2017-04-28 07:42:23
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learnwthink

铜虫 (小有名气)

楼上说的有道理,可能是由于靶材太厚等原因,导致阳极罩与靶材短接,可以使用垫圈垫高阳极罩,表笔点靶材与阳极罩,如果不导通,应该可以起辉。

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每天一小步
5楼2017-04-28 08:19:45
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