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燕子zy

新虫 (小有名气)

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[求助] 磁控溅射靶短路已有1人参与

求助磁控溅射的靶枪短路起不了辉可能是什么原因导致的呢，是不是里面的绝缘体坏了，该怎么解决呢

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1楼 2017-04-27 21:21:34

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Friend007

银虫 (知名作家)

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专业: 机械工程

一般是阳极罩和靶材短路解决办法把阳极罩拆掉清理一下重新装上

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4楼2017-04-28 07:42:23

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wenzhen2011

至尊木虫 (著名写手)

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表笔测一下是否导通？如果确定不导通，通气量可以增大试试是金属还是氧化物？

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犹叹当年小蛮腰，空余恨，一身五花膘！

2楼2017-04-27 21:32:58

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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)

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你怎么知道短路了，电源没烧？

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3楼2017-04-28 06:05:45

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learnwthink

铜虫 (小有名气)

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楼上说的有道理，可能是由于靶材太厚等原因，导致阳极罩与靶材短接，可以使用垫圈垫高阳极罩，表笔点靶材与阳极罩，如果不导通，应该可以起辉。

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每天一小步

5楼2017-04-28 08:19:45

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