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燕子zy

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶短路已有1人参与

求助磁控溅射的靶枪短路起不了辉可能是什么原因导致的呢,是不是里面的绝缘体坏了,该怎么解决呢
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燕子zy

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by learnwthink at 2017-04-28 08:19:45
楼上说的有道理,可能是由于靶材太厚等原因,导致阳极罩与靶材短接,可以使用垫圈垫高阳极罩,表笔点靶材与阳极罩,如果不导通,应该可以起辉。

第一次做台阶镀膜能正常起起辉,但第二次没动靶那块,只是重新放样再镀就起不了辉,然后万能表测试发现短路了,取下外壳测试靶材的位置和绝缘层最上面的金属层也是短路的,是不是绝缘层坏了呢
8楼2017-04-28 13:58:27
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wenzhen2011

至尊木虫 (著名写手)

表笔测一下是否导通? 如果确定不导通,通气量可以增大试试 是金属还是氧化物?

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犹叹当年小蛮腰,空余恨,一身五花膘!
2楼2017-04-27 21:32:58
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)

你怎么知道短路了,电源没烧?

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3楼2017-04-28 06:05:45
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Friend007

银虫 (知名作家)


一般是阳极罩和靶材短路 解决办法 把阳极罩拆掉 清理一下 重新装上

发自小木虫Android客户端
4楼2017-04-28 07:42:23
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learnwthink

铜虫 (小有名气)

楼上说的有道理,可能是由于靶材太厚等原因,导致阳极罩与靶材短接,可以使用垫圈垫高阳极罩,表笔点靶材与阳极罩,如果不导通,应该可以起辉。

发自小木虫Android客户端
每天一小步
5楼2017-04-28 08:19:45
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燕子zy

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wenzhen2011 at 2017-04-27 21:32:58
表笔测一下是否导通? 如果确定不导通,通气量可以增大试试 是金属还是氧化物?

万能表测试,整个靶都短路,取下外壳之后测试靶枪基底与绝缘层上面都是短路的
6楼2017-04-28 13:53:42
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燕子zy

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2017-04-28 07:42:23
一般是阳极罩和靶材短路 解决办法 把阳极罩拆掉 清理一下 重新装上

好的,试一下,谢谢
7楼2017-04-28 13:54:29
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qinlei110

捐助贵宾 (著名写手)

9楼2017-04-28 14:26:37
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
6楼: Originally posted by 燕子zy at 2017-04-28 13:53:42
万能表测试,整个靶都短路,取下外壳之后测试靶枪基底与绝缘层上面都是短路的...

那就先把靶枪基底与大地之间先做到绝缘了再说其他的问题。
10楼2017-04-29 13:59:06
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