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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射靶短路
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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燕子zy

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶短路 已有1人参与

求助磁控溅射的靶枪短路起不了辉可能是什么原因导致的呢，是不是里面的绝缘体坏了，该怎么解决呢
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1楼 2017-04-27 21:21:34
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

燕子zy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by learnwthink at 2017-04-28 08:19:45
楼上说的有道理，可能是由于靶材太厚等原因，导致阳极罩与靶材短接，可以使用垫圈垫高阳极罩，表笔点靶材与阳极罩，如果不导通，应该可以起辉。

第一次做台阶镀膜能正常起起辉，但第二次没动靶那块，只是重新放样再镀就起不了辉，然后万能表测试发现短路了，取下外壳测试靶材的位置和绝缘层最上面的金属层也是短路的，是不是绝缘层坏了呢
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8楼2017-04-28 13:58:27
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wenzhen2011

至尊木虫 (著名写手)
表笔测一下是否导通？ 如果确定不导通，通气量可以增大试试 是金属还是氧化物？

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犹叹当年小蛮腰，空余恨，一身五花膘！
2楼2017-04-27 21:32:58
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
你怎么知道短路了，电源没烧？

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3楼2017-04-28 06:05:45
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Friend007

银虫 (知名作家)
一般是阳极罩和靶材短路 解决办法 把阳极罩拆掉 清理一下 重新装上

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4楼2017-04-28 07:42:23
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learnwthink

铜虫 (小有名气)
楼上说的有道理，可能是由于靶材太厚等原因，导致阳极罩与靶材短接，可以使用垫圈垫高阳极罩，表笔点靶材与阳极罩，如果不导通，应该可以起辉。

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每天一小步
5楼2017-04-28 08:19:45
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燕子zy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wenzhen2011 at 2017-04-27 21:32:58
表笔测一下是否导通？ 如果确定不导通，通气量可以增大试试 是金属还是氧化物？

万能表测试，整个靶都短路，取下外壳之后测试靶枪基底与绝缘层上面都是短路的
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6楼2017-04-28 13:53:42
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燕子zy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2017-04-28 07:42:23
一般是阳极罩和靶材短路 解决办法 把阳极罩拆掉 清理一下 重新装上

好的，试一下，谢谢
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7楼2017-04-28 13:54:29
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qinlei110

捐助贵宾 (著名写手)
换一个绝缘垫就行了

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9楼2017-04-28 14:26:37
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
6楼: Originally posted by 燕子zy at 2017-04-28 13:53:42
万能表测试，整个靶都短路，取下外壳之后测试靶枪基底与绝缘层上面都是短路的...

那就先把靶枪基底与大地之间先做到绝缘了再说其他的问题。
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10楼2017-04-29 13:59:06
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