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燕子zy

新虫 (小有名气)

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注册: 2016-02-23
专业: 无机非金属类高温超导与磁

[求助] 磁控溅射靶短路已有1人参与

求助磁控溅射的靶枪短路起不了辉可能是什么原因导致的呢，是不是里面的绝缘体坏了，该怎么解决呢

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1楼 2017-04-27 21:21:34

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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专业: 功能陶瓷

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

引用回帖:

6楼: Originally posted by 燕子zy at 2017-04-28 13:53:42
万能表测试，整个靶都短路，取下外壳之后测试靶枪基底与绝缘层上面都是短路的...

那就先把靶枪基底与大地之间先做到绝缘了再说其他的问题。

10楼2017-04-29 13:59:06

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wenzhen2011

至尊木虫 (著名写手)

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注册: 2011-10-12
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统

表笔测一下是否导通？如果确定不导通，通气量可以增大试试是金属还是氧化物？

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犹叹当年小蛮腰，空余恨，一身五花膘！

2楼2017-04-27 21:32:58

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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 3 (幼儿园)
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注册: 2013-11-13
专业: 半导体光电子器件

你怎么知道短路了，电源没烧？

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3楼2017-04-28 06:05:45

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Friend007

银虫 (知名作家)

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专业: 机械工程

一般是阳极罩和靶材短路解决办法把阳极罩拆掉清理一下重新装上

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4楼2017-04-28 07:42:23

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