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光刻问题求助。 已有4人参与
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这个图片拍的差了点，但直线条边上的参差不齐的边缘图案还能看见。想问一下出现这种情况的原因和解决方式。胶厚2.5um。谢谢各位大牛～ 发自小木虫IOS客户端 |
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xuhaiming13
新虫 (初入文坛)
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7楼2017-03-22 10:26:11
lee0803
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+1, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:49:59
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+1, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:49:59
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线条的黑边也很严重。可能是掩膜版和片子接触不好，也可能是曝光剂量不对。最好把你详细的工艺流程说明一下，逐步排查。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2017-03-20 16:50:09
叫我小川兄吧
木虫 (正式写手)
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- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2017-03-20 22:48:28
4楼2017-03-21 10:17:22
