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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻问题求助。 已有4人参与

这个图片拍的差了点,但直线条边上的参差不齐的边缘图案还能看见。想问一下出现这种情况的原因和解决方式。胶厚2.5um。谢谢各位大牛~

光刻问题求助。


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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

慎独
3楼2017-03-20 22:48:28
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+1, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:49:59
线条的黑边也很严重。可能是掩膜版和片子接触不好,也可能是曝光剂量不对。最好把你详细的工艺流程说明一下,逐步排查。

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2楼2017-03-20 16:50:09
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2017-03-20 22:48:28
前烘了吗,时间,温度咋样

按照光刻胶的说明,热板100度90秒

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4楼2017-03-21 10:17:22
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2017-03-20 16:50:09
线条的黑边也很严重。可能是掩膜版和片子接触不好,也可能是曝光剂量不对。最好把你详细的工艺流程说明一下,逐步排查。

前烘甩胶都是按光刻胶说明书来的。接触是直接菲林片压在衬底上,曝光是10秒,显影45秒。有可能是曝光时间短了吧?可是线条宽度却刚刚好呃

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5楼2017-03-21 10:19:41
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