应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻图形脱离硅片并裂开
汕头大学海洋科学接受调剂
101/1返回列表
查看: 1291  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zhanjiang

木虫 (著名写手)

[求助] 光刻图形脱离硅片并裂开

为什么光刻图形脱离了硅片基底，并且一块一块裂开了，同样的参数之前做的没有出现过这种问题，就昨天做的居然变成这个样子了，求助各位大神，有没有遇到过类似情况的兄弟姐妹们。

IMG_20121106_095604_0.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢
1楼 2012-11-06 10:02:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你用的是光刻胶？还是别的材料？
你这个片子，以肉眼可见的情况，真是脏的不得了。各种颗粒和水渍遍布其上啊。
薄膜脱落，和衬底没有清洗干净，以及片子表面没有烘干，有潮气有非常直接的关系。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2012-11-06 14:26:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhanjiang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-06 14:26:00
你用的是光刻胶？还是别的材料？
你这个片子，以肉眼可见的情况，真是脏的不得了。各种颗粒和水渍遍布其上啊。
薄膜脱落，和衬底没有清洗干净，以及片子表面没有烘干，有潮气有非常直接的关系。

这个是光刻胶，这个片子之前还是蛮干净的，这是显影之后的情况，显影之后貌似是挺脏的。你说的片子表面没有烘干，是指匀胶之前没有烘干呀。。。。貌似烘干了的。衬底在做实验之前还是蛮干净的。还有没有其他的可能性呀？谢谢你了啊。
赞一下 回复此楼
3楼2012-11-06 14:44:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

我说的是你涂胶之前没有烘干。
衬底在做实验之前很干净？你做particle测试了？你怎么清洗的？
还有，你这用的是啥光刻胶啊，看着相当诡异。
赞一下 回复此楼
4楼2012-11-06 21:15:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhanjiang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-06 21:15:29
我说的是你涂胶之前没有烘干。
衬底在做实验之前很干净？你做particle测试了？你怎么清洗的？
还有，你这用的是啥光刻胶啊，看着相当诡异。

哦，涂胶之前烘干没有我现在也不确定了，我后面再做一次实验注意一下这个问题看看。你说的这个particle测试是啥意思呀？我没有做。我是用丙酮超声再加SPM清洗硅片的。这个是SU8胶，我也觉得很诡异，被吓住了。谢谢你，非常感谢。
赞一下 回复此楼
5楼2012-11-06 21:49:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by zhanjiang at 2012-11-06 21:49:05
哦，涂胶之前烘干没有我现在也不确定了，我后面再做一次实验注意一下这个问题看看。你说的这个particle测试是啥意思呀？我没有做。我是用丙酮超声再加SPM清洗硅片的。这个是SU8胶，我也觉得很诡异，被吓住了。谢谢 ...

几个可能。
1.你做完水虎鱼以后没冲干净，酸雾留在硅片上了。
2.丙酮完了你没做乙醇和去离子水。
3. 涂胶之前没烘干。
4. 没做HMDS。一般硅片有潮气的情况下，SU8的确非常容易脱落，由于SU8是环氧树脂基的，机械性能好，于是就这德行了。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

zhanjiang
6楼2012-11-06 22:05:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我也觉得是衬底的问题，没处理干净。SU８而言，就是工艺参数偏离很多也不见得能出来这样的结果。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

zhanjiang
我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
7楼2012-11-06 23:24:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhanjiang

木虫 (著名写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by myIDname at 2012-11-06 23:24:09
我也觉得是衬底的问题，没处理干净。SU８而言，就是工艺参数偏离很多也不见得能出来这样的结果。

好的，我做实验注意一下，看能不能解决掉这个问题。非常感谢。
赞一下 回复此楼
8楼2012-11-07 08:19:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhanjiang

木虫 (著名写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-06 22:05:47
几个可能。
1.你做完水虎鱼以后没冲干净，酸雾留在硅片上了。
2.丙酮完了你没做乙醇和去离子水。
3. 涂胶之前没烘干。
4. 没做HMDS。一般硅片有潮气的情况下，SU8的确非常容易脱落，由于SU8是环氧树脂基的，机 ...

太感谢了，感谢您的热心解答，我下次做实验的时候特别注意一下您说的情况，再看看是什么样的，但愿是由于我操作上的失误引起的，这样比较好解决。目前我还不晓得那个金币咋发放，我先送您一朵鲜花吧。
赞一下 回复此楼
9楼2012-11-07 08:21:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by zhanjiang at 2012-11-07 08:21:46
太感谢了，感谢您的热心解答，我下次做实验的时候特别注意一下您说的情况，再看看是什么样的，但愿是由于我操作上的失误引起的，这样比较好解决。目前我还不晓得那个金币咋发放，我先送您一朵鲜花吧。...

不客气，给个红花我很开心了，比金币强多了。
赞一下 回复此楼
10楼2012-11-07 16:17:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zhanjiang 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿211，化学310分，本科重点双非，求调剂 +24 努力奋斗112 2026-04-08 24/1200 2026-04-14 18:02 by lhj2009
[考研] 材料专业344求调剂 +17 hualkop 2026-04-10 22/1100 2026-04-14 16:21 by sxdj2
[考研] 279求调剂 +12 张番茄不炒蛋 2026-04-11 12/600 2026-04-14 15:38 by zs92450
[考研] 本科211，报考085601-310分 +16 ararak 2026-04-13 16/800 2026-04-14 14:55 by Delta2012
[考研] 245求调剂 +6 冰糖橘?汽水 2026-04-13 10/500 2026-04-14 10:49 by jyl0317
[考研] 农学0904 312求调剂 +4 Say Never 2026-04-11 4/200 2026-04-14 09:10 by zs92450
[考研] 机械还有还有名额吗？太难了 +8 笑笑袁 2026-04-10 8/400 2026-04-14 08:44 by screening
[考研] 2本，初试303，0860求调剂 +6 floriea 2026-04-12 8/400 2026-04-12 18:13 by zhouxiaoyu
[考研] 307求调剂 +10 tzq94092 2026-04-10 10/500 2026-04-12 08:18 by wise999
[考研] 0860004 求调剂 309分 +9 Yin DY 2026-04-08 9/450 2026-04-11 22:55 by dongdian1
[考研] 296求调剂 +14 汪！？！ 2026-04-08 15/750 2026-04-11 20:28 by dongdian1
[考研] 调剂求助 +6 果然有我 2026-04-11 7/350 2026-04-11 16:22 by 明月此时有
[考研] 0854调剂 +5 音像店听花鼓戏 2026-04-10 5/250 2026-04-11 10:49 by qingpingzhu
[考研] 22408 327分求调剂 +4 韵风kon 2026-04-10 4/200 2026-04-11 09:51 by 猪会飞
[考研] 22408调剂求助 +7 毂12 2026-04-09 9/450 2026-04-11 09:23 by 哦哦123
[考研] 中科院总分315求调剂 +8 lallalh 2026-04-09 8/400 2026-04-10 19:30 by dick_runner
[考研] 314求调剂 +14 weltZeng 2026-04-09 14/700 2026-04-09 23:14 by wolf97
[考研] 材料化工总分334求调剂 +16 Riot2025 2026-04-08 17/850 2026-04-09 20:19 by maddjdld
[考研] 0703化学求调剂 +21 不知名的小卅 2026-04-08 21/1050 2026-04-09 18:55 by l_paradox
[考研] 286求调剂 +19 Faune 2026-04-08 20/1000 2026-04-09 08:36 by 哦哦123
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭