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zhanjiang

木虫 (著名写手)

[求助] 光刻图形脱离硅片并裂开

为什么光刻图形脱离了硅片基底,并且一块一块裂开了,同样的参数之前做的没有出现过这种问题,就昨天做的居然变成这个样子了,求助各位大神,有没有遇到过类似情况的兄弟姐妹们。

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yswyx的关于光刻的各种回复

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zhanjiang

木虫 (著名写手)

送鲜花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by myIDname at 2012-11-06 23:24:09
我也觉得是衬底的问题,没处理干净。SU8而言,就是工艺参数偏离很多也不见得能出来这样的结果。

好的,我做实验注意一下,看能不能解决掉这个问题。非常感谢。
8楼2012-11-07 08:19:33
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你用的是光刻胶?还是别的材料?
你这个片子,以肉眼可见的情况,真是脏的不得了。各种颗粒和水渍遍布其上啊。
薄膜脱落,和衬底没有清洗干净,以及片子表面没有烘干,有潮气有非常直接的关系。
2楼2012-11-06 14:26:00
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zhanjiang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-06 14:26:00
你用的是光刻胶?还是别的材料?
你这个片子,以肉眼可见的情况,真是脏的不得了。各种颗粒和水渍遍布其上啊。
薄膜脱落,和衬底没有清洗干净,以及片子表面没有烘干,有潮气有非常直接的关系。

这个是光刻胶,这个片子之前还是蛮干净的,这是显影之后的情况,显影之后貌似是挺脏的。你说的片子表面没有烘干,是指匀胶之前没有烘干呀。。。。貌似烘干了的。衬底在做实验之前还是蛮干净的。还有没有其他的可能性呀?谢谢你了啊。
3楼2012-11-06 14:44:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

我说的是你涂胶之前没有烘干。
衬底在做实验之前很干净?你做particle测试了?你怎么清洗的?
还有,你这用的是啥光刻胶啊,看着相当诡异。
4楼2012-11-06 21:15:29
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