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zhanjiang木虫 (著名写手)
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[求助]
光刻图形脱离硅片并裂开
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为什么光刻图形脱离了硅片基底，并且一块一块裂开了，同样的参数之前做的没有出现过这种问题，就昨天做的居然变成这个样子了，求助各位大神，有没有遇到过类似情况的兄弟姐妹们。 IMG_20121106_095604_0.jpg |
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zhanjiang
7楼2012-11-06 23:24:09
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2楼2012-11-06 14:26:00
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3楼2012-11-06 14:44:41
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4楼2012-11-06 21:15:29
