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zhanjiang

木虫 (著名写手)

[求助] 光刻图形脱离硅片并裂开

为什么光刻图形脱离了硅片基底,并且一块一块裂开了,同样的参数之前做的没有出现过这种问题,就昨天做的居然变成这个样子了,求助各位大神,有没有遇到过类似情况的兄弟姐妹们。

IMG_20121106_095604_0.jpg
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yswyx

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【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by zhanjiang at 2012-11-06 21:49:05
哦,涂胶之前烘干没有我现在也不确定了,我后面再做一次实验注意一下这个问题看看。你说的这个particle测试是啥意思呀?我没有做。我是用丙酮超声再加SPM清洗硅片的。这个是SU8胶,我也觉得很诡异,被吓住了。谢谢 ...

几个可能。
1.你做完水虎鱼以后没冲干净,酸雾留在硅片上了。
2.丙酮完了你没做乙醇和去离子水。
3. 涂胶之前没烘干。
4. 没做HMDS。一般硅片有潮气的情况下,SU8的确非常容易脱落,由于SU8是环氧树脂基的,机械性能好,于是就这德行了。

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6楼2012-11-06 22:05:47
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你用的是光刻胶?还是别的材料?
你这个片子,以肉眼可见的情况,真是脏的不得了。各种颗粒和水渍遍布其上啊。
薄膜脱落,和衬底没有清洗干净,以及片子表面没有烘干,有潮气有非常直接的关系。
2楼2012-11-06 14:26:00
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zhanjiang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-06 14:26:00
你用的是光刻胶?还是别的材料?
你这个片子,以肉眼可见的情况,真是脏的不得了。各种颗粒和水渍遍布其上啊。
薄膜脱落,和衬底没有清洗干净,以及片子表面没有烘干,有潮气有非常直接的关系。

这个是光刻胶,这个片子之前还是蛮干净的,这是显影之后的情况,显影之后貌似是挺脏的。你说的片子表面没有烘干,是指匀胶之前没有烘干呀。。。。貌似烘干了的。衬底在做实验之前还是蛮干净的。还有没有其他的可能性呀?谢谢你了啊。
3楼2012-11-06 14:44:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

我说的是你涂胶之前没有烘干。
衬底在做实验之前很干净?你做particle测试了?你怎么清洗的?
还有,你这用的是啥光刻胶啊,看着相当诡异。
4楼2012-11-06 21:15:29
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