| 查看: 2404 | 回复: 13 | ||
[求助]
光刻问题求助。 已有4人参与
|
||
这个图片拍的差了点，但直线条边上的参差不齐的边缘图案还能看见。想问一下出现这种情况的原因和解决方式。胶厚2.5um。谢谢各位大牛～ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有91人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 光刻胶旋涂厚度的控制问题——望予以帮助，不甚感激。
已经有2人回复
- 求助，光刻方面的知识。
已经有7人回复
- E-Beam 蒸镀金时候，表面形成直径2~20um的大颗粒，什么原因？
已经有9人回复
- 光刻胶 脏污 问题求助
已经有11人回复
- 碳化光刻胶去除求助！
已经有6人回复
- 光刻图形脱离硅片并裂开
已经有9人回复
- 【求助】光刻板的问题
已经有9人回复
- 【求助】关于AZ1805光刻胶（匀胶铬板上的胶）的问题！
已经有0人回复
- 【求助】以打印的胶片做曝光用的掩膜时会出现很多问题，该如何解决呢？
已经有4人回复
叫我小川兄吧
木虫 (正式写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2332.9
- 散金: 1791
- 红花: 17
- 帖子: 792
- 在线: 199.6小时
- 虫号: 3226397
- 注册: 2014-05-22
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2017-03-20 22:48:28
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
9楼2017-03-23 18:29:25
lee0803
木虫 (小有名气)
- 应助: 34 (小学生)
- 金币: 2591.4
- 散金: 863
- 红花: 2
- 帖子: 155
- 在线: 253.4小时
- 虫号: 3087972
- 注册: 2014-03-25
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
【答案】应助回帖
★
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+1, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:49:59
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+1, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:49:59
|
线条的黑边也很严重。可能是掩膜版和片子接触不好，也可能是曝光剂量不对。最好把你详细的工艺流程说明一下，逐步排查。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2017-03-20 16:50:09
4楼2017-03-21 10:17:22
5楼2017-03-21 10:19:41
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2017-03-22 09:15:10
xuhaiming13
新虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 13.3
- 散金: 6
- 帖子: 14
- 在线: 6.4小时
- 虫号: 5096407
- 注册: 2016-10-08
- 专业: 环境微生物学
7楼2017-03-22 10:26:11
8楼2017-03-22 10:41:23
kigeon
金虫 (正式写手)
- 应助: 81 (初中生)
- 金币: 7032.8
- 散金: 588
- 红花: 19
- 帖子: 889
- 在线: 929.4小时
- 虫号: 2328697
- 注册: 2013-03-08
- 性别: MM
- 专业: 胶体与界面化学
10楼2017-03-24 11:29:22
20