应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻问题求助。
51/1返回列表
查看: 2409  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻问题求助。 已有4人参与

这个图片拍的差了点，但直线条边上的参差不齐的边缘图案还能看见。想问一下出现这种情况的原因和解决方式。胶厚2.5um。谢谢各位大牛～

光刻问题求助。


发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2017-03-20 13:49:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2017-03-20 22:48:28
前烘了吗，时间，温度咋样

按照光刻胶的说明，热板100度90秒

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2017-03-21 10:17:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+1, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:49:59
线条的黑边也很严重。可能是掩膜版和片子接触不好，也可能是曝光剂量不对。最好把你详细的工艺流程说明一下，逐步排查。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2017-03-20 16:50:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)
前烘了吗，时间，温度咋样

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
慎独
3楼2017-03-20 22:48:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2017-03-20 16:50:09
线条的黑边也很严重。可能是掩膜版和片子接触不好，也可能是曝光剂量不对。最好把你详细的工艺流程说明一下，逐步排查。

前烘甩胶都是按光刻胶说明书来的。接触是直接菲林片压在衬底上，曝光是10秒，显影45秒。有可能是曝光时间短了吧？可是线条宽度却刚刚好呃

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2017-03-21 10:19:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +10 布布和一二 2026-08-08 21/1050 2026-08-09 17:21 by 天神眷顾
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] fileCode有新解读？ +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 好奇怪的filecode +3 布布和一二 2026-08-08 4/200 2026-08-08 17:46 by zhanghaozhu
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:27 by oEVWOejN9taj
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:19 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 WQyTGMbfH7Cx 2026-08-07 4/200 2026-08-08 15:02 by oEVWOejN9taj
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:47 by oEVWOejN9taj
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:39 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 4/200 2026-08-08 14:27 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:22 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:01 by oEVWOejN9taj
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭