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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 听MIT的同学说，XRD还能测薄膜的厚度，各位大侠怎么看
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

[交流] 听MIT的同学说，XRD还能测薄膜的厚度，各位大侠怎么看已有28人参与

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PVD ALD CVD
1楼2015-07-18 11:01:10
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

zyh4014

至尊木虫 (知名作家)

兵部侍郎
★
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这个不用MIT的同学，中南大学的同学也知道吧

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人间正道是沧桑
12楼2015-07-19 12:46:04
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lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主
★
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小角衍射可以，物理所麦振红就用这方法，但个人觉得最准确的还是TEM
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2楼2015-07-18 12:29:24
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以的，利用不同材料界面处的反射不同测出

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2015-07-18 12:47:43
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simuman

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
x-ray测薄膜厚度是可以的。结合自己所做过的，x-ray diffraction（XRD）不论是SAXD还是WAXD都不是测厚度的，测薄膜厚度的是x-ray reflectivity。用x-ray reflectivity测厚度非常精确，可达到0.1nm或更小。
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37楼2015-07-20 09:09:54
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蒲公英hehe

铜虫 (初入文坛)
★
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谢乐公式，测半高宽，和tem测的是两个不同概念厚度，没有可比性

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10楼2015-07-19 12:18:02
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by leiqingguo at 2015-07-19 15:22:36
Xps

XPS能测薄膜厚度，你不是在逗我吧，我胸不大~
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PVD ALD CVD
23楼2015-07-19 16:44:35
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510673827

木虫 (正式写手)
★
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需要特定的仪器，人家给你算现成的。

一般的仪器不行，
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4楼2015-07-19 07:55:41
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张济1810

木虫 (小有名气)
★
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5楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 08:46:25
SEM和FESEM怎么样...

SEM 应该不行吧
特殊样品拉曼也可以  afm有时候也可以
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6楼2015-07-19 09:37:10
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匿名

★
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13楼2015-07-19 12:53:18
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匿名

用户注销 (文坛精英)
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14楼2015-07-19 13:05:36
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maiery

金虫 (正式写手)
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引用回帖:
2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2015-07-18 12:29:24
小角衍射可以，物理所麦振红就用这方法，但个人觉得最准确的还是TEM

掠射肯定可以，但本身计算的公式对不同靶目标差异可能会很大，以前试过用MCNP结合Beer定律。不知道大家还有什么好方法，特此请教。
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无欲无求，知足常乐
16楼2015-07-19 14:05:02
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子安砂

木虫 (正式写手)
★
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又来一个秀同学的

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24楼2015-07-19 17:22:24
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plqIMR

新虫 (正式写手)
★
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学过XRD表征的都知道

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26楼2015-07-19 18:27:25
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紫荆空间

银虫 (著名写手)
★
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XRD不是表征结构的么？没用XRD测试过膜厚，都用电镜测试厚度。
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39楼2015-07-20 15:10:36
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普通回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2015-07-18 12:29:24
小角衍射可以，物理所麦振红就用这方法，但个人觉得最准确的还是TEM

SEM和FESEM怎么样
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PVD ALD CVD
5楼2015-07-19 08:46:25
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lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主
★
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引用回帖:
5楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 08:46:25
SEM和FESEM怎么样...

50nm以上应该可以
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7楼2015-07-19 11:37:20
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匿名

用户注销 (小有名气)
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8楼2015-07-19 11:50:16
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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早就有了好吧。。新的仪器好多都有这个模式的，样品适合还是很准的，和电镜原理不同，各有利弊，没法比的
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9楼2015-07-19 12:07:43
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