24小时热门版块排行榜    

查看: 4254  |  回复: 43

yangyueyf

银虫 (正式写手)

[交流] 听MIT的同学说,XRD还能测薄膜的厚度,各位大侠怎么看 已有28人参与

回复此楼
PVD ALD CVD
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

zyh4014

至尊木虫 (知名作家)

兵部侍郎


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个不用MIT的同学,中南大学的同学也知道吧

[ 发自小木虫客户端 ]
人间正道是沧桑
12楼2015-07-19 12:46:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
小角衍射可以,物理所麦振红就用这方法,但个人觉得最准确的还是TEM
2楼2015-07-18 12:29:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以的,利用不同材料界面处的反射不同测出

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2015-07-18 12:47:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simuman

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
x-ray测薄膜厚度是可以的。结合自己所做过的,x-ray diffraction(XRD)不论是SAXD还是WAXD都不是测厚度的,测薄膜厚度的是x-ray reflectivity。用x-ray reflectivity测厚度非常精确,可达到0.1nm或更小。
37楼2015-07-20 09:09:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

蒲公英hehe

铜虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
谢乐公式,测半高宽,和tem测的是两个不同概念厚度,没有可比性

[ 发自小木虫客户端 ]
10楼2015-07-19 12:18:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)

引用回帖:
22楼: Originally posted by leiqingguo at 2015-07-19 15:22:36
Xps

XPS能测薄膜厚度,你不是在逗我吧,我胸不大~
PVD ALD CVD
23楼2015-07-19 16:44:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

510673827

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
需要特定的仪器,人家给你算现成的。

一般的仪器不行,
4楼2015-07-19 07:55:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

张济1810

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 08:46:25
SEM和FESEM怎么样...

SEM 应该不行吧
特殊样品拉曼也可以  afm有时候也可以
6楼2015-07-19 09:37:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖仅楼主可见
13楼2015-07-19 12:53:18
已阅   申请CMEI   回复此楼   编辑   查看我的主页

匿名

用户注销 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖仅楼主可见
14楼2015-07-19 13:05:36
已阅   申请CMEI   回复此楼   编辑   查看我的主页

maiery

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2015-07-18 12:29:24
小角衍射可以,物理所麦振红就用这方法,但个人觉得最准确的还是TEM

掠射肯定可以,但本身计算的公式对不同靶目标差异可能会很大,以前试过用MCNP结合Beer定律。不知道大家还有什么好方法,特此请教。
无欲无求,知足常乐
16楼2015-07-19 14:05:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

子安砂

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
又来一个秀同学的

[ 发自小木虫客户端 ]
24楼2015-07-19 17:22:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

plqIMR

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
学过XRD表征的都知道

[ 发自小木虫客户端 ]
26楼2015-07-19 18:27:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫荆空间

银虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
XRD不是表征结构的么?没用XRD测试过膜厚,都用电镜测试厚度。
39楼2015-07-20 15:10:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2015-07-18 12:29:24
小角衍射可以,物理所麦振红就用这方法,但个人觉得最准确的还是TEM

SEM和FESEM怎么样
PVD ALD CVD
5楼2015-07-19 08:46:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 08:46:25
SEM和FESEM怎么样...

50nm以上应该可以
7楼2015-07-19 11:37:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖仅楼主可见
8楼2015-07-19 11:50:16
已阅   申请CMEI   回复此楼   编辑   查看我的主页

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
早就有了好吧。。新的仪器好多都有这个模式的,样品适合还是很准的,和电镜原理不同,各有利弊,没法比的
9楼2015-07-19 12:07:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yangyueyf 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料专硕306英一数二 +8 z1z2z3879 2026-03-16 10/500 2026-03-18 00:01 by 星空星月
[考研] 302求调剂 +6 呼呼呼。。。。 2026-03-17 6/300 2026-03-17 23:56 by 星空星月
[考研] 312求调剂 +4 陌宸希 2026-03-16 5/250 2026-03-17 17:09 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿,福州大学材料专硕339分求调剂 +3 木子momo青争 2026-03-15 3/150 2026-03-17 07:52 by laoshidan
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨; 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 11408 一志愿西电,277分求调剂 +3 zhouzhen654 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:03 by laoshidan
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +3 自由煎饼果子 2026-03-16 3/150 2026-03-16 14:10 by 运气yunqi
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +6 zlingli 2026-03-13 6/300 2026-03-15 20:00 by ryzcf
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +7 7712b 2026-03-13 7/350 2026-03-13 21:42 by peike
[考研] 333求调剂 +3 球球古力 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:27 by JourneyLucky
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 0703化学求调剂 +7 绿豆芹菜汤 2026-03-12 7/350 2026-03-13 17:25 by njzyff
[考研] 土木第一志愿276求调剂,科研和技能十分丰富,求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考博] 2026年博士申请 +3 QwQwQW10 2026-03-11 3/150 2026-03-12 17:58 by gxch43
信息提示
请填处理意见