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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 听MIT的同学说，XRD还能测薄膜的厚度，各位大侠怎么看
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卫庆硕

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
37楼: Originally posted by simuman at 2015-07-20 09:09:54
x-ray测薄膜厚度是可以的。结合自己所做过的，x-ray diffraction（XRD）不论是SAXD还是WAXD都不是测厚度的，测薄膜厚度的是x-ray reflectivity。用x-ray reflectivity测厚度非常精确，可达到0.1nm或更小。

常年在 ANL 搬砖的民工表示看到正解很开心。
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41楼2015-07-24 19:39:48
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ntrdyb

铁杆木虫 (职业作家)
引用回帖:
23楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 16:44:35
XPS能测薄膜厚度，你不是在逗我吧，我胸不大~...

真的？
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42楼2015-07-24 20:03:54
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qqwei

专家顾问 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
23楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 16:44:35
XPS能测薄膜厚度，你不是在逗我吧，我胸不大~...

XPS当然可以，理论上IR也可以
理论上只要是反射折射射线的测试都可以
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43楼2015-07-24 20:57:37
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T-MAC麦子

至尊木虫 (著名写手)

自身酱油虫
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
23楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 16:44:35
XPS能测薄膜厚度，你不是在逗我吧，我胸不大~...

如果想测，还真能测吧，XPS不是可以溅射后测元素沿深度的分布么。。不就可以知道膜厚了？
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44楼2015-07-24 21:05:21
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