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lcdxclxy

铁杆木虫 (著名写手)

是拍断面?

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11楼2015-07-19 12:26:45
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zyh4014

至尊木虫 (知名作家)

兵部侍郎


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个不用MIT的同学,中南大学的同学也知道吧

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人间正道是沧桑
12楼2015-07-19 12:46:04
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匿名


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖仅楼主可见
13楼2015-07-19 12:53:18
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匿名

用户注销 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖仅楼主可见
14楼2015-07-19 13:05:36
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小明大哥大

金虫 (知名作家)

Ph.D.


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主照片是本人嘛?

[ 发自小木虫客户端 ]
15楼2015-07-19 13:12:47
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maiery

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2015-07-18 12:29:24
小角衍射可以,物理所麦振红就用这方法,但个人觉得最准确的还是TEM

掠射肯定可以,但本身计算的公式对不同靶目标差异可能会很大,以前试过用MCNP结合Beer定律。不知道大家还有什么好方法,特此请教。
无欲无求,知足常乐
16楼2015-07-19 14:05:02
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 蒲公英hehe at 2015-07-19 12:18:02
谢乐公式,测半高宽,和tem测的是两个不同概念厚度,没有可比性

确实,一个是估计单个晶粒的尺寸,一个是观察整个薄膜的厚度
PVD ALD CVD
17楼2015-07-19 14:48:14
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by lcdxclxy at 2015-07-19 12:26:45
是拍断面?

现在都是用FESEM拍断面来测薄膜厚度的,但是有点贵喔~
PVD ALD CVD
18楼2015-07-19 14:49:19
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

引用回帖:
15楼: Originally posted by 小明大哥大 at 2015-07-19 13:12:47
楼主照片是本人嘛?

长得不好看
PVD ALD CVD
19楼2015-07-19 14:51:26
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

引用回帖:
13楼: Originally posted by 715151072 at 2015-07-19 12:53:18
你的帖子都是科研哈

科研完了才能回家,心塞塞
PVD ALD CVD
20楼2015-07-19 14:52:33
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