听MIT的同学说，XRD还能测薄膜的厚度，各位大侠怎么看 - 晶体 - 测试表征 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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lcdxclxy

铁杆木虫 (著名写手)

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是拍断面？

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11楼2015-07-19 12:26:45

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zyh4014

至尊木虫 (知名作家)

兵部侍郎

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这个不用MIT的同学，中南大学的同学也知道吧

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人间正道是沧桑

12楼2015-07-19 12:46:04

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匿名

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13楼2015-07-19 12:53:18

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匿名

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14楼2015-07-19 13:05:36

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小明大哥大

金虫 (知名作家)

Ph.D.

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楼主照片是本人嘛？

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15楼2015-07-19 13:12:47

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maiery

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2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2015-07-18 12:29:24
小角衍射可以，物理所麦振红就用这方法，但个人觉得最准确的还是TEM

掠射肯定可以，但本身计算的公式对不同靶目标差异可能会很大，以前试过用MCNP结合Beer定律。不知道大家还有什么好方法，特此请教。

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无欲无求，知足常乐

16楼2015-07-19 14:05:02

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yangyueyf

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10楼: Originally posted by 蒲公英hehe at 2015-07-19 12:18:02
谢乐公式，测半高宽，和tem测的是两个不同概念厚度，没有可比性

确实，一个是估计单个晶粒的尺寸，一个是观察整个薄膜的厚度

PVD ALD CVD

17楼2015-07-19 14:48:14

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yangyueyf

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11楼: Originally posted by lcdxclxy at 2015-07-19 12:26:45
是拍断面？

现在都是用FESEM拍断面来测薄膜厚度的，但是有点贵喔~

PVD ALD CVD

18楼2015-07-19 14:49:19

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yangyueyf

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15楼: Originally posted by 小明大哥大 at 2015-07-19 13:12:47
楼主照片是本人嘛？

长得不好看

PVD ALD CVD

19楼2015-07-19 14:51:26

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yangyueyf

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13楼: Originally posted by 715151072 at 2015-07-19 12:53:18
你的帖子都是科研哈

科研完了才能回家，心塞塞

PVD ALD CVD

20楼2015-07-19 14:52:33

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