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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 听MIT的同学说，XRD还能测薄膜的厚度，各位大侠怎么看
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匿名

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31楼2015-07-20 00:14:41
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lomgi

木虫 (正式写手)
呵呵，顶一顶。。。。。。。

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32楼2015-07-20 00:39:46
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
31楼: Originally posted by 715151072 at 2015-07-20 00:14:41
可以加好友吗？
...

加关注吧
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PVD ALD CVD
33楼2015-07-20 08:54:02
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
30楼: Originally posted by zmus at 2015-07-19 21:52:36
X射线反射 XRR, 角度在０到６度就可以了，就是在XRD仪器上做的

多谢多谢，再送样的话我就问问实验员
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PVD ALD CVD
34楼2015-07-20 08:56:05
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by hanxuehit at 2015-07-19 13:05:36
好像我们单位就对外测这个，挺容易的。

能问一下师姐是哪个单位的么？
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PVD ALD CVD
35楼2015-07-20 08:57:22
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leiqingguo

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
23楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 16:44:35
XPS能测薄膜厚度，你不是在逗我吧，我胸不大~...

呵呵，不信你查查

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36楼2015-07-20 09:06:41
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simuman

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
x-ray测薄膜厚度是可以的。结合自己所做过的，x-ray diffraction（XRD）不论是SAXD还是WAXD都不是测厚度的，测薄膜厚度的是x-ray reflectivity。用x-ray reflectivity测厚度非常精确，可达到0.1nm或更小。
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37楼2015-07-20 09:09:54
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再见理想35

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
23楼: Originally posted by yangyueyf at 2015-07-19 16:44:35
XPS能测薄膜厚度，你不是在逗我吧，我胸不大~...

Raman可以测厚度
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38楼2015-07-20 09:11:39
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紫荆空间

银虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
XRD不是表征结构的么？没用XRD测试过膜厚，都用电镜测试厚度。
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39楼2015-07-20 15:10:36
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
39楼: Originally posted by 紫荆空间 at 2015-07-20 15:10:36
XRD不是表征结构的么？没用XRD测试过膜厚，都用电镜测试厚度。

好像确实是能够测薄膜厚度，利用的是X射线的反射（XRR）而不是衍射（XRD），一般能做XRD的都能做XRR。
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PVD ALD CVD
40楼2015-07-22 08:51:40
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