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yangyueyf

银虫 (正式写手)

[交流] 听MIT的同学说,XRD还能测薄膜的厚度,各位大侠怎么看已有28人参与

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PVD ALD CVD
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2015-07-18 12:29:24
小角衍射可以,物理所麦振红就用这方法,但个人觉得最准确的还是TEM

SEM和FESEM怎么样
PVD ALD CVD
5楼2015-07-19 08:46:25
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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10楼: Originally posted by 蒲公英hehe at 2015-07-19 12:18:02
谢乐公式,测半高宽,和tem测的是两个不同概念厚度,没有可比性

确实,一个是估计单个晶粒的尺寸,一个是观察整个薄膜的厚度
PVD ALD CVD
17楼2015-07-19 14:48:14
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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11楼: Originally posted by lcdxclxy at 2015-07-19 12:26:45
是拍断面?

现在都是用FESEM拍断面来测薄膜厚度的,但是有点贵喔~
PVD ALD CVD
18楼2015-07-19 14:49:19
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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15楼: Originally posted by 小明大哥大 at 2015-07-19 13:12:47
楼主照片是本人嘛?

长得不好看
PVD ALD CVD
19楼2015-07-19 14:51:26
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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13楼: Originally posted by 715151072 at 2015-07-19 12:53:18
你的帖子都是科研哈

科研完了才能回家,心塞塞
PVD ALD CVD
20楼2015-07-19 14:52:33
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22楼: Originally posted by leiqingguo at 2015-07-19 15:22:36
Xps

XPS能测薄膜厚度,你不是在逗我吧,我胸不大~
PVD ALD CVD
23楼2015-07-19 16:44:35
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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26楼: Originally posted by plqIMR at 2015-07-19 18:27:25
学过XRD表征的都知道

好吧,我真的不知道,老师只告诉去做XRD,剩下的就靠自己了
PVD ALD CVD
28楼2015-07-19 21:01:51
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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31楼: Originally posted by 715151072 at 2015-07-20 00:14:41
可以加好友吗?
...

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PVD ALD CVD
33楼2015-07-20 08:54:02
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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30楼: Originally posted by zmus at 2015-07-19 21:52:36
X射线反射 XRR, 角度在0到6度就可以了,就是在XRD仪器上做的

多谢多谢,再送样的话我就问问实验员
PVD ALD CVD
34楼2015-07-20 08:56:05
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