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银虫 (正式写手)

[交流] 听MIT的同学说，XRD还能测薄膜的厚度，各位大侠怎么看已有28人参与

PVD ALD CVD

1楼 2015-07-18 11:01:10

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银虫 (正式写手)

引用回帖:

14楼: Originally posted by hanxuehit at 2015-07-19 13:05:36
好像我们单位就对外测这个，挺容易的。

能问一下师姐是哪个单位的么？

PVD ALD CVD

35楼2015-07-20 08:57:22

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银虫 (正式写手)

引用回帖:

39楼: Originally posted by 紫荆空间 at 2015-07-20 15:10:36
XRD不是表征结构的么？没用XRD测试过膜厚，都用电镜测试厚度。

好像确实是能够测薄膜厚度，利用的是X射线的反射（XRR）而不是衍射（XRD），一般能做XRD的都能做XRR。

PVD ALD CVD

40楼2015-07-22 08:51:40

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