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yangyueyf

银虫 (正式写手)

[交流] 听MIT的同学说,XRD还能测薄膜的厚度,各位大侠怎么看已有28人参与

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PVD ALD CVD
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simuman

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
x-ray测薄膜厚度是可以的。结合自己所做过的,x-ray diffraction(XRD)不论是SAXD还是WAXD都不是测厚度的,测薄膜厚度的是x-ray reflectivity。用x-ray reflectivity测厚度非常精确,可达到0.1nm或更小。
37楼2015-07-20 09:09:54
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