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yangyueyf

银虫 (正式写手)

[交流] 听MIT的同学说,XRD还能测薄膜的厚度,各位大侠怎么看已有28人参与

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PVD ALD CVD
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maiery

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2015-07-18 12:29:24
小角衍射可以,物理所麦振红就用这方法,但个人觉得最准确的还是TEM

掠射肯定可以,但本身计算的公式对不同靶目标差异可能会很大,以前试过用MCNP结合Beer定律。不知道大家还有什么好方法,特此请教。
无欲无求,知足常乐
16楼2015-07-19 14:05:02
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