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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » AZ4620光刻胶匀胶后，表面有起皱。怎么解决？
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lijingcas

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620光刻胶匀胶后，表面有起皱。怎么解决？ 已有2人参与

AZ4620光刻胶匀胶后，表面有起皱。
匀胶速率500/4000转（20/60sec），烘胶100度，3min。
肉眼观察，好像有一些突起，不平整。
怎么解决？
多谢！
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1楼 2015-07-07 10:11:52
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lp82nlf

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是在薄膜材料上旋涂的嘛？我之前在薄膜上面旋涂 加之温度过高 就会出现这种情况，简易你把温度降低一点 同时时间加长一点 就好
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2楼2015-07-07 15:09:40
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lijingcas

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lp82nlf at 2015-07-07 15:09:40
你是在薄膜材料上旋涂的嘛？我之前在薄膜上面旋涂 加之温度过高 就会出现这种情况，简易你把温度降低一点 同时时间加长一点 就好

我在Si片上旋涂。呵呵，多谢了！
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3楼2015-07-08 15:12:05
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zipperzinc

木虫 (正式写手)
我在刚刚匀胶完就能看到胶面有很多细小的条纹状，从基版的中间往四周发散。请问这是怎么回事
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赠人玫瑰，手留余香
4楼2015-07-22 17:37:04
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perry_ping

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

直接喷胶，就没有这些问题了，匀胶就会有条纹状，影响不大

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2016-01-25 20:39:05
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雨辰学光学

新虫 (初入文坛)
你的主转速太快了，调慢一点，1500rpm应该差不多
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6楼2018-04-03 17:12:09
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陈小黑cy

新虫 (初入文坛)
这个问题我也一到，请问下如何解决这个问题的啊？谢谢了

发自小木虫Android客户端
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7楼2018-11-13 15:30:55
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