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lijingcas

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620光刻胶匀胶后,表面有起皱。怎么解决? 已有2人参与

AZ4620光刻胶匀胶后,表面有起皱。
匀胶速率500/4000转(20/60sec),烘胶100度,3min。
肉眼观察,好像有一些突起,不平整。
怎么解决?
多谢!
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lijingcas

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lp82nlf at 2015-07-07 15:09:40
你是在薄膜材料上旋涂的嘛?我之前在薄膜上面旋涂 加之温度过高 就会出现这种情况,简易你把温度降低一点 同时时间加长一点 就好

我在Si片上旋涂。呵呵,多谢了!
3楼2015-07-08 15:12:05
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lp82nlf

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你是在薄膜材料上旋涂的嘛?我之前在薄膜上面旋涂 加之温度过高 就会出现这种情况,简易你把温度降低一点 同时时间加长一点 就好
2楼2015-07-07 15:09:40
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zipperzinc

木虫 (正式写手)

我在刚刚匀胶完就能看到胶面有很多细小的条纹状,从基版的中间往四周发散。请问这是怎么回事
赠人玫瑰,手留余香
4楼2015-07-22 17:37:04
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perry_ping

新虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

直接喷胶,就没有这些问题了,匀胶就会有条纹状,影响不大

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
5楼2016-01-25 20:39:05
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