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296380895

新虫 (正式写手)

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[交流] 如何在纳米硅颗粒表面用CVD方法沉积碳

大家好，本人想在纳米硅表面用CVD方法沉积一层碳，但是使用CVD方法时是不是需要在管式炉里抽真空，那样我的硅粉末不就抽没了，请问有懂CVD的指点指点小弟，多谢了

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1楼 2015-06-02 15:57:35

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kjwu

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应助: 1 (幼儿园)
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★
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应该不会吧，纳米硅又不是气体
如果担心的话，可以在抽气口加一些缓冲，减少抽力
发自小木虫IOS客户端

24楼2017-08-24 18:03:10

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