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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助：通过CVD法在银纳米颗粒表面沉积硅烷
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godisavgirl

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 求助：通过CVD法在银纳米颗粒表面沉积硅烷 已有2人参与

本人想通过CVD（化学气相沉积）在银纳米颗粒表面沉积一层硅烷，可是自己不是很懂。求帮助，急急急！！！
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1楼 2014-06-25 21:44:14
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
godisavgirl: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-06-27 21:49:11
硅烷是气体。
你的问题是用硅烷气体沉积一层硅薄膜吧？
你需要什么样的薄膜呢？
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2楼2014-06-25 22:07:28
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cloudcc

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
godisavgirl: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-06-27 21:49:23
原理非常简单，可以就放在管式炉里加热并通氩气加硅烷气体，温度的控制和气体流量是关键，温度可以看文献，流量可以多试几次但是原则上越小越好这样好控制并且可以是薄膜而不是长出颗粒。。。
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还不够
3楼2014-06-25 22:45:10
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godisavgirl

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2014-06-25 22:07:28
硅烷是气体。
你的问题是用硅烷气体沉积一层硅薄膜吧？
你需要什么样的薄膜呢？

4楼2014-06-27 21:56:25
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godisavgirl

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by cloudcc at 2014-06-25 22:45:10
原理非常简单，可以就放在管式炉里加热并通氩气加硅烷气体，温度的控制和气体流量是关键，温度可以看文献，流量可以多试几次但是原则上越小越好这样好控制并且可以是薄膜而不是长出颗粒。。。

我用的硅烷是液体的，想在基底上沉积一层硅烷薄膜。之前有篇文献是直接把基底和PDMA（聚二甲基硅烷）放在一个密封的空间内，直接加热使PDMA裂解并沉积在基底表面。
但问题是我的基底不能耐高温（不能超过130度），所以想问下有其他的沉积方法没？
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5楼2014-06-27 21:56:43
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
godisavgirl: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-06-30 13:09:55
PECVD方法可以在低温下沉积硅薄膜
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6楼2014-06-27 22:39:59
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godisavgirl

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by cord at 2014-06-27 22:39:59
PECVD方法可以在低温下沉积硅薄膜

PECVD全称是什么，有具体操作方法没？
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7楼2014-06-30 13:10:49
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

等离子体化学气象沉积
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8楼2014-06-30 18:35:49
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874929115

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by cloudcc at 2014-06-25 22:45:10
原理非常简单，可以就放在管式炉里加热并通氩气加硅烷气体，温度的控制和气体流量是关键，温度可以看文献，流量可以多试几次但是原则上越小越好这样好控制并且可以是薄膜而不是长出颗粒。。。

一般沉积的质量（重量）大概是多少啊？μg级的么？
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9楼2014-07-25 01:10:11
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296380895

新虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by godisavgirl at 2014-06-27 21:56:43
我用的硅烷是液体的，想在基底上沉积一层硅烷薄膜。之前有篇文献是直接把基底和PDMA（聚二甲基硅烷）放在一个密封的空间内，直接加热使PDMA裂解并沉积在基底表面。
但问题是我的基底不能耐高温（不能超过130度）， ...

请问楼主这篇关于PDMA的文章在哪里看到的 能发给我吗 麻烦了
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10楼2015-06-02 22:01:49
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