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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助：通过CVD法在银纳米颗粒表面沉积硅烷
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iiverson

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by godisavgirl at 2014-06-27 21:56:43
我用的硅烷是液体的，想在基底上沉积一层硅烷薄膜。之前有篇文献是直接把基底和PDMA（聚二甲基硅烷）放在一个密封的空间内，直接加热使PDMA裂解并沉积在基底表面。
但问题是我的基底不能耐高温（不能超过130度）， ...

楼主文献能推荐一下吗？多谢了

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11楼2019-03-18 22:08:21
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zemxldz

新虫 (初入文坛)
最后咋样，效果如何？问下，使用过程中密闭性和对反应炉内空气的处理怎么实现的
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12楼2021-07-05 10:50:50
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