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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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iiverson

新虫 (初入文坛)

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5楼: Originally posted by godisavgirl at 2014-06-27 21:56:43
我用的硅烷是液体的,想在基底上沉积一层硅烷薄膜。之前有篇文献是直接把基底和PDMA(聚二甲基硅烷)放在一个密封的空间内,直接加热使PDMA裂解并沉积在基底表面。
但问题是我的基底不能耐高温(不能超过130度), ...

楼主文献能推荐一下吗?多谢了

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11楼2019-03-18 22:08:21
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zemxldz

新虫 (初入文坛)

最后咋样,效果如何?问下,使用过程中密闭性和对反应炉内空气的处理怎么实现的
12楼2021-07-05 10:50:50
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