| 查看: 5151 | 回复: 22 | ||
静哥哥铁杆木虫 (著名写手)
|
[求助]
求助：做CVD用管式炉高手请进！
|
|
|
实验室主要烧管式炉做cvd，有台双温区管式炉，见图1、2，因为以前买的时候厂家改造了尾部法兰带循环水制冷，所以我们平时做实验时是用把粉末等放到石英管再把石英管放入管式炉中的陶瓷管，防止多余粉末沉积到陶瓷管中，有循环水高温做cvd就不怕尾部热气致使硅橡胶圈老化，因此不用炉塞。 但是小弟我最近买了台单温区管式炉，gsl-1400x，由于没经验，炉子到手后发现尾部无循环水制冷，工程师告诉我要用炉塞，单温区管式炉陶瓷管才一米，塞上炉塞陶瓷管可用区域就很短了，温度梯度区域完全无法用，因为我们不想多余的粉末沉积到陶瓷管里。 现在的问题是，找厂家说现在标配的都没循环水法兰，不知道大家的有没有循环水？用没用炉塞？有没有人也买了合肥科晶的产品然后自己改装了的？如果用循环水那石英管就没法放了？  双温区管式炉.jpg  2 法兰带循环水.jpg  刚买的单温区管式炉.jpg  尾部无循环水.png |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有186人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求问：CVD过程中如果选用四氯化碳做碳源，装置怎么搭建？
已经有5人回复
- 煅烧和退火的区别？
已经有10人回复
- 高温燃烧管式炉漏气怎么办？
已经有23人回复
- 管式炉氮气流量的控制
已经有8人回复
- 管式炉高温通氨气?
已经有11人回复
- CVD生长碳纳米管
已经有17人回复
- 管式炉单温区和双温区的区别
已经有5人回复
- 用SwissModel预测只能得到蛋白质的一大部分的三维结构，why？
已经有14人回复
- 各位高手们，请问PVD与CVD的区别！
已经有4人回复
- 管式炉煅烧过程中，管子两端倒吸水
已经有16人回复
- 管式炉 CVD法制备碳纳米管 工艺
已经有14人回复
- 管式炉通氢氩混合气有什么需要注意的地方么？
已经有27人回复
- 列举用模板法制备金属纳米导线的例子
已经有3人回复
- 【求助】请问有没有做SnO2的呢？
已经有19人回复
- 【求助】CVD过程陶瓷舟能耐多少度？
已经有4人回复
- 【求助】红外高手请进
已经有17人回复
- 【求助】用过氰基硼氢化钠和硼氢化钠的高手请进
已经有10人回复
- 【求助】日语高手请进！帮忙翻译，有金币
已经有7人回复
- 【请教】CVD生长碳管中液态碳源的装置如何搭建？
已经有15人回复
21楼2016-02-24 16:35:39
静哥哥
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 7153.4
- 散金: 2250
- 红花: 25
- 帖子: 1212
- 在线: 883.7小时
- 虫号: 1397806
- 注册: 2011-09-10
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2013-09-24 20:57:48
3楼2013-09-24 22:00:32
4楼2013-09-24 22:03:59
静哥哥
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 7153.4
- 散金: 2250
- 红花: 25
- 帖子: 1212
- 在线: 883.7小时
- 虫号: 1397806
- 注册: 2011-09-10
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2013-09-25 12:47:49
6楼2013-09-25 15:48:26
7楼2013-09-25 15:52:35
静哥哥
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 7153.4
- 散金: 2250
- 红花: 25
- 帖子: 1212
- 在线: 883.7小时
- 虫号: 1397806
- 注册: 2011-09-10
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
8楼2013-09-25 16:10:35
changge87
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 16 (小学生)
- 金币: 4880.2
- 散金: 174
- 红花: 9
- 帖子: 422
- 在线: 350.3小时
- 虫号: 644847
- 注册: 2008-11-03
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
9楼2013-09-26 08:55:42
静哥哥
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 7153.4
- 散金: 2250
- 红花: 25
- 帖子: 1212
- 在线: 883.7小时
- 虫号: 1397806
- 注册: 2011-09-10
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
10楼2013-09-26 09:37:44