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静哥哥铁杆木虫 (著名写手)
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[求助]
求助：做CVD用管式炉高手请进！
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实验室主要烧管式炉做cvd，有台双温区管式炉，见图1、2，因为以前买的时候厂家改造了尾部法兰带循环水制冷，所以我们平时做实验时是用把粉末等放到石英管再把石英管放入管式炉中的陶瓷管，防止多余粉末沉积到陶瓷管中，有循环水高温做cvd就不怕尾部热气致使硅橡胶圈老化，因此不用炉塞。 但是小弟我最近买了台单温区管式炉，gsl-1400x，由于没经验，炉子到手后发现尾部无循环水制冷，工程师告诉我要用炉塞，单温区管式炉陶瓷管才一米，塞上炉塞陶瓷管可用区域就很短了，温度梯度区域完全无法用，因为我们不想多余的粉末沉积到陶瓷管里。 现在的问题是，找厂家说现在标配的都没循环水法兰，不知道大家的有没有循环水？用没用炉塞？有没有人也买了合肥科晶的产品然后自己改装了的？如果用循环水那石英管就没法放了？  双温区管式炉.jpg  2 法兰带循环水.jpg  刚买的单温区管式炉.jpg  尾部无循环水.png |
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4楼2013-09-24 22:03:59
静哥哥
铁杆木虫 (著名写手)
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- 专业: 半导体材料
5楼2013-09-25 12:47:49
