[交流] 管式炉通氢氩混合气有什么需要注意的地方么？

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1楼 2011-11-04 21:54:37

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kongjzh

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注意氧气不能同时使用
通氢气前一定要用氮气或氩气检查炉子和管道是否漏气，还有就是气流的大概大小。
另外，尾气要通出室外
具体的可以联系我，我是做FePt的

20楼2011-11-12 17:09:44

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yueeryjf

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先通氩气10分钟以上，再通氢气。最好气体进炉前加缓冲装置，炉膛保持尽量的密封，保持室内通风。另外氩气与氢气体积比例是多少，你要烧到多少度？

4楼2011-11-04 23:57:33

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wulishi8

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只要密封好了，将气体排出，没任何问题，通入氢气前要把管子抽真空，或是用氩气赶出空气。我烧过1000度以上的，氢氩比例也没任何问题，随便。

5楼2011-11-05 06:24:25

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zoeun

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密封好，先通氩气再通氢气

6楼2011-11-05 09:45:12

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liuguangnankai

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4楼: Originally posted by yueeryjf at 2011-11-04 23:57:33:
先通氩气10分钟以上，再通氢气。最好气体进炉前加缓冲装置，炉膛保持尽量的密封，保持室内通风。另外氩气与氢气体积比例是多少，你要烧到多少度？

谢谢，我用氢氩10%：90%，烧300-500度。有那种混合好的氢氩混合气。

7楼2011-11-05 11:54:16

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pinyun

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如果你的气体是买的时候钢瓶就混合好的。这个没什么关系。相信你用含氢气是因为防止样品氧化吧，那么这个时候应该先通一段时间再加热。

8楼2011-11-05 15:19:36

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qason11

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9楼2011-11-05 18:24:47

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melyan

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10楼2011-11-06 21:19:40

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qinkaiqiang

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1楼: Originally posted by liuguangnankai at 2011-11-04 21:54:37:
谢谢大家。

一般是先通氩气，等炉子升到指定温度时再通氢气，尽量通氢气的时候能够保证石英管中没有空气，我在1000℃时长石墨烯通过氢气，只要没有氧气，混合比例没什么要求。

11楼2011-11-07 12:23:57

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ZGmse

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5楼: Originally posted by wulishi8 at 2011-11-05 06:24:25:
只要密封好了，将气体排出，没任何问题，通入氢气前要把管子抽真空，或是用氩气赶出空气。我烧过1000度以上的，氢氩比例也没任何问题，随便。

请问如果管子中的气压能抽到3×10-2torr左右，又通100sccm的氩气1小时左右，然后加热到900℃，结果得到的材料还是会被氧化，这个仍然是系统的气密性有问题吗？谢谢！

12楼2011-11-07 14:26:32

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wulishi8

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12楼: Originally posted by ZGmse at 2011-11-07 14:26:32:
请问如果管子中的气压能抽到3×10-2torr左右，又通100sccm的氩气1小时左右，然后加热到900℃，结果得到的材料还是会被氧化，这个仍然是系统的气密性有问题吗？谢谢！

应该是密封不行，或是氩气不纯

13楼2011-11-07 15:50:14

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ZGmse

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13楼: Originally posted by wulishi8 at 2011-11-07 15:50:14:
应该是密封不行，或是氩气不纯

我就是用那种似乎是铝做的能拧紧的帽（里面有橡胶圈）扣在管的两端，拧紧，再缠上一层那种用于密封的透明带。那请问还有什么更好的密封方法吗？

14楼2011-11-07 22:43:49

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wulishi8

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14楼: Originally posted by ZGmse at 2011-11-07 22:43:49:
我就是用那种似乎是铝做的能拧紧的帽（里面有橡胶圈）扣在管的两端，拧紧，再缠上一层那种用于密封的透明带。那请问还有什么更好的密封方法吗？

第一，你的管子要是刚玉管，一般1000以上一根那种；或是石英玻璃；
第二，橡胶圈密封至少可以达到Pa的级别，密封好了应该没问题;
第三，我们这里用的是直接石英玻璃和金属融合密封连接，效果不错，你可以找个公司做一个。
PS：密封那个不是透明胶带吧，生胶带？

15楼2011-11-08 05:47:59

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melyan

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11楼: Originally posted by qinkaiqiang at 2011-11-07 12:23:57:
一般是先通氩气，等炉子升到指定温度时再通氢气，尽量通氢气的时候能够保证石英管中没有空气，我在1000℃时长石墨烯通过氢气，只要没有氧气，混合比例没什么要求。

你的炉子什么型号的？

16楼2011-11-10 20:39:01

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qinkaiqiang

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16楼: Originally posted by melyan at 2011-11-10 20:39:01:
你的炉子什么型号的？

OTF-1200的炉子。

17楼2011-11-11 08:43:31

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melyan

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17楼: Originally posted by qinkaiqiang at 2011-11-11 08:43:31:
OTF-1200的炉子。

我用的lenton炉通气量刻度最小0.5L/M,,这种炉子是不是没法做CVD阿？

18楼2011-11-11 22:28:42

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qinkaiqiang

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18楼: Originally posted by melyan at 2011-11-11 22:28:42:
我用的lenton炉通气量刻度最小0.5L/M,,这种炉子是不是没法做CVD阿？

你用的是真空管式炉吗？lenton有好多种炉子呢，要是马弗炉就不行了。

19楼2011-11-12 15:56:03

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dyyan

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3835234楼: Originally posted by kongjzh at 2011-11-12 17:09:44:
注意氧气不能同时使用
通氢气前一定要用氮气或氩气检查炉子和管道是否漏气，还有就是气流的大概大小。
另外，尾气要通出室外
具体的可以联系我，我是做FePt的

你好，我想请教一下关于管式炉高温通氢气的问题。我要烧1500摄氏度，管式炉密封的橡胶圈就会老化，怎么办？

21楼2012-04-04 20:25:18

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dounai1114

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楼主你尝试的结果怎么样啊，我最近也要用10%氢氩混合气通入高温石英管式炉，我的温度大概也在500度，不知道安不安全，所以想问问楼主有什么经验了

22楼2014-03-26 19:09:15

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tianfu42

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22楼: Originally posted by dounai1114 at 2014-03-26 19:09:15
楼主你尝试的结果怎么样啊，我最近也要用10%氢氩混合气通入高温石英管式炉，我的温度大概也在500度，不知道安不安全，所以想问问楼主有什么经验了

我准备九月份做个10%氢氩混合气体通入高温石英管炉子，但是买的是两个16~160ml/min的玻璃转子流量计（产品标定介质为空气），准备用于粗测氢氩气体的流量，不知道如何标定使用。想求教下你们的经验，看能否解决这个流量计使用问题，谢谢！！

23楼2014-08-15 18:06:56

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蓝涩柠檬草

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20楼: Originally posted by kongjzh at 2011-11-12 17:09:44
注意氧气不能同时使用
通氢气前一定要用氮气或氩气检查炉子和管道是否漏气，还有就是气流的大概大小。
另外，尾气要通出室外
具体的可以联系我，我是做FePt的

前辈，请问检查是否漏气是用皂泡法吗，我们的管式炉用的刚玉管，两段直接橡胶塞那种，在胶塞外接触管壁的地方用生料带缠绕，这样可靠吗？不是真空炉，还要买真空抽气泵吗？谢谢！

24楼2014-09-04 17:30:53

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longjiaqiuu

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7楼: Originally posted by liuguangnankai at 2011-11-05 11:54:16
谢谢，我用氢氩10%：90%，烧300-500度。有那种混合好的氢氩混合气。...

请问这种的1300度会不会有危险，另外通过的气体是直接排到实验室里面了么？

25楼2014-09-18 11:17:16

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你好你有联系方式吗？谢谢

26楼2015-06-12 10:42:51

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师兄，你有联系方式吗

27楼2016-03-26 16:03:24

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一般是先通氩气排气30分钟，然后再开氢气，一定要检验气密性

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