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1970-01-01 08:00:00
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qinkaiqiang

木虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
18楼: Originally posted by melyan at 2011-11-11 22:28:42:
我用的lenton炉通气量刻度最小0.5L/M,,这种炉子是不是没法做CVD阿 ?

你用的是真空管式炉吗?lenton有好多种炉子呢,要是马弗炉就不行了。
19楼2011-11-12 15:56:03
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查看全部 28 个回答

yueeryjf

银虫 (小有名气)


★ ★
liuguangnankai(金币+1):谢谢参与
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-11-05 00:12:43
先通氩气10分钟以上,再通氢气。最好气体进炉前加缓冲装置,炉膛保持尽量的密封,保持室内通风。另外氩气与氢气体积比例是多少,你要烧到多少度?
4楼2011-11-04 23:57:33
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★ ★
liuguangnankai(金币+1):谢谢参与
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-11-05 08:02:55
只要密封好了,将气体排出,没任何问题,通入氢气前要把管子抽真空,或是用氩气赶出空气。我烧过1000度以上的,氢氩比例也没任何问题,随便。
5楼2011-11-05 06:24:25
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zoeun

木虫 (正式写手)



liuguangnankai(金币+1):谢谢参与
密封好,先通氩气再通氢气
6楼2011-11-05 09:45:12
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2011-11-04 22:30   回复  
liuguangnankai(金币+1):谢谢参与
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