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静哥哥

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 求助:做CVD用管式炉高手请进!

实验室主要烧管式炉做cvd,有台双温区管式炉,见图1、2,因为以前买的时候厂家改造了尾部法兰带循环水制冷,所以我们平时做实验时是用把粉末等放到石英管再把石英管放入管式炉中的陶瓷管,防止多余粉末沉积到陶瓷管中,有循环水高温做cvd就不怕尾部热气致使硅橡胶圈老化,因此不用炉塞。

但是小弟我最近买了台单温区管式炉,gsl-1400x,由于没经验,炉子到手后发现尾部无循环水制冷,工程师告诉我要用炉塞,单温区管式炉陶瓷管才一米,塞上炉塞陶瓷管可用区域就很短了,温度梯度区域完全无法用,因为我们不想多余的粉末沉积到陶瓷管里。
  
现在的问题是,找厂家说现在标配的都没循环水法兰,不知道大家的有没有循环水?用没用炉塞?有没有人也买了合肥科晶的产品然后自己改装了的?如果用循环水那石英管就没法放了?
求助:做CVD用管式炉高手请进!
双温区管式炉.jpg


求助:做CVD用管式炉高手请进!-1
2 法兰带循环水.jpg


求助:做CVD用管式炉高手请进!-2
刚买的单温区管式炉.jpg


求助:做CVD用管式炉高手请进!-3
尾部无循环水.png
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新手变成老手
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静哥哥

铁杆木虫 (著名写手)

嘎嘎,这你也知道是我啊,哈哈!
新手变成老手
10楼2013-09-26 09:37:44
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查看全部 23 个回答

lvyiyilv

木虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个可以直接用石英管呗,粉末放在石英舟里,石英舟放到石英管里。石英管导热好。炉体之外二十厘米外就不热了。当然了,看你这个台子挺短,用石英管一寸的话直接用塞子,三寸的费用不锈钢的,两头得有支撑。我们自己搭的设备就不需要循环水。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2013-09-24 22:00:32
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

我三温区的炉子用两米的石英管,单温区的用一米二的石英管,完全没有热的问题

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2013-09-24 22:03:59
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静哥哥

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lvyiyilv at 2013-09-24 22:03:59
我三温区的炉子用两米的石英管,单温区的用一米二的石英管,完全没有热的问题

你们一般加热到多少度,我们一般用到八九百度,“这个可以直接用石英管呗,粉末放在石英舟里,石英舟放到石英管”,你是说陶瓷管换位石英管?

‘今天烧到一千度,陶瓷管与法兰连接处发现不止一百度,可以闻到法兰下的橡胶圈的味道,我们的陶瓷管一米,石英管90cm,我感觉不冷却橡胶圈老化肯定很快。你们的单温区用一米二的石英管,是直接用的石英管?不用陶瓷管?
新手变成老手
5楼2013-09-25 12:47:49
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