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qhl635408756

新虫 (初入文坛)

[求助] CVD法合成碳纳米管薄膜 已有5人参与

先用磁控溅射在蓝宝石基底上溅射了一层Ni。

然后放入管式炉CVD中,Ar为保护气体,流量120sccm。
先在500摄氏度还原40min,氢气流量为10sccm。
然后升到800摄氏度生长,甲烷流量10sccm,Ar120sccm,氢气10sccm,生长一个小时。
都是常压下进行的。

请问各位高手,为什么蓝宝石基底上没有碳纳米管生成呢?
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metaliium

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zzkejing at 2014-08-06 13:48:49
你的实验布局是怎么得来的呢  我很少听说过蓝宝石衬底做碳纳米线哦 可能是我见识的少吧

蓝宝石不就是氧化铝么。。。
8楼2014-08-07 11:40:51
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普通回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
qhl635408756: 金币+5, 有帮助 2014-08-06 14:23:42
本帖内容被屏蔽

2楼2014-08-06 13:48:49
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qhl635408756

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zzkejing at 2014-08-06 13:48:49
你的实验布局是怎么得来的呢  我很少听说过蓝宝石衬底做碳纳米线哦 可能是我见识的少吧

看文献的呀。您也是做碳纳米管的吗?
3楼2014-08-06 14:23:29
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
qhl635408756: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-08-07 07:56:44
1.Ni的厚度非常重要,1到2nm;
2.需要镀镍之前弄一层氧化铝或者氧化镁薄膜,20nm左右的厚度;
3.氢气还原温度太低,可以直接调整到生长温度。

PS:蓝宝石基底不便宜啊,硅片就可以了。
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4楼2014-08-06 16:03:31
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翔弟

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Ni多厚? 建议在下面先镀个缓冲层。然后才镀Ni。 用的什么炉子?
5楼2014-08-06 17:13:03
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qhl635408756

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by wulishi8 at 2014-08-06 16:03:31
1.Ni的厚度非常重要,1到2nm;
2.需要镀镍之前弄一层氧化铝或者氧化镁薄膜,20nm左右的厚度;
3.氢气还原温度太低,可以直接调整到生长温度。

PS:蓝宝石基底不便宜啊,硅片就可以了。

是想在蓝宝石基底上做出碳纳米管薄膜的。

我之前相同的参数做出过,但最近都没做出来,不知道为什么。
6楼2014-08-07 07:56:35
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qhl635408756

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 翔弟 at 2014-08-06 17:13:03
Ni多厚? 建议在下面先镀个缓冲层。然后才镀Ni。 用的什么炉子?

应该是1到3nm。

是在蓝宝石上做碳纳米管薄膜,镀缓冲层会不会影响透过率?

用的是科晶的真真空CVD生长系统。
7楼2014-08-07 07:58:37
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翔弟

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by qhl635408756 at 2014-08-07 07:58:37
应该是1到3nm。

是在蓝宝石上做碳纳米管薄膜,镀缓冲层会不会影响透过率?

用的是科晶的真真空CVD生长系统。...

能说一下你的工艺步骤么?
9楼2014-08-07 14:23:12
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翔弟

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by qhl635408756 at 2014-08-07 07:58:37
应该是1到3nm。

是在蓝宝石上做碳纳米管薄膜,镀缓冲层会不会影响透过率?

用的是科晶的真真空CVD生长系统。...

而且 炉子之前需要空烧一次。
10楼2014-08-07 14:24:57
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