应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD法合成碳纳米管薄膜
51/1返回列表
查看: 2839  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

qhl635408756

新虫 (初入文坛)

[求助] CVD法合成碳纳米管薄膜 已有5人参与

先用磁控溅射在蓝宝石基底上溅射了一层Ni。

然后放入管式炉CVD中，Ar为保护气体，流量120sccm。
先在500摄氏度还原40min，氢气流量为10sccm。
然后升到800摄氏度生长，甲烷流量10sccm，Ar120sccm，氢气10sccm，生长一个小时。
都是常压下进行的。

请问各位高手，为什么蓝宝石基底上没有碳纳米管生成呢？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

wulishi8在碳材料和其他专业问题的回复

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-08-06 08:46:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

翔弟

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by qhl635408756 at 2014-08-07 07:58:37
应该是1到3nm。

是在蓝宝石上做碳纳米管薄膜，镀缓冲层会不会影响透过率？

用的是科晶的真真空CVD生长系统。...

能说一下你的工艺步骤么？
赞一下 回复此楼
9楼2014-08-07 14:23:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答

zzkejing

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qhl635408756: 金币+5, ★有帮助 2014-08-06 14:23:42
本帖内容被屏蔽
2楼2014-08-06 13:48:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qhl635408756

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zzkejing at 2014-08-06 13:48:49
你的实验布局是怎么得来的呢  我很少听说过蓝宝石衬底做碳纳米线哦 可能是我见识的少吧

看文献的呀。您也是做碳纳米管的吗？
赞一下 回复此楼
3楼2014-08-06 14:23:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qhl635408756: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-08-07 07:56:44
1.Ni的厚度非常重要，1到2nm；
2.需要镀镍之前弄一层氧化铝或者氧化镁薄膜，20nm左右的厚度；
3.氢气还原温度太低，可以直接调整到生长温度。

PS：蓝宝石基底不便宜啊，硅片就可以了。
赞一下 回复此楼
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员，年薪20万起，请站内联系，谢谢。
4楼2014-08-06 16:03:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭