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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD法合成碳纳米管薄膜
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qhl635408756

新虫 (初入文坛)

[求助] CVD法合成碳纳米管薄膜 已有5人参与

先用磁控溅射在蓝宝石基底上溅射了一层Ni。

然后放入管式炉CVD中，Ar为保护气体，流量120sccm。
先在500摄氏度还原40min，氢气流量为10sccm。
然后升到800摄氏度生长，甲烷流量10sccm，Ar120sccm，氢气10sccm，生长一个小时。
都是常压下进行的。

请问各位高手，为什么蓝宝石基底上没有碳纳米管生成呢？
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1楼 2014-08-06 08:46:30
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

metaliium

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zzkejing at 2014-08-06 13:48:49
你的实验布局是怎么得来的呢  我很少听说过蓝宝石衬底做碳纳米线哦 可能是我见识的少吧

蓝宝石不就是氧化铝么。。。
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8楼2014-08-07 11:40:51
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普通回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qhl635408756: 金币+5, ★有帮助 2014-08-06 14:23:42
本帖内容被屏蔽
2楼2014-08-06 13:48:49
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qhl635408756

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zzkejing at 2014-08-06 13:48:49
你的实验布局是怎么得来的呢  我很少听说过蓝宝石衬底做碳纳米线哦 可能是我见识的少吧

看文献的呀。您也是做碳纳米管的吗？
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3楼2014-08-06 14:23:29
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qhl635408756: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-08-07 07:56:44
1.Ni的厚度非常重要，1到2nm；
2.需要镀镍之前弄一层氧化铝或者氧化镁薄膜，20nm左右的厚度；
3.氢气还原温度太低，可以直接调整到生长温度。

PS：蓝宝石基底不便宜啊，硅片就可以了。
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4楼2014-08-06 16:03:31
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翔弟

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Ni多厚？ 建议在下面先镀个缓冲层。然后才镀Ni。 用的什么炉子？
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5楼2014-08-06 17:13:03
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qhl635408756

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wulishi8 at 2014-08-06 16:03:31
1.Ni的厚度非常重要，1到2nm；
2.需要镀镍之前弄一层氧化铝或者氧化镁薄膜，20nm左右的厚度；
3.氢气还原温度太低，可以直接调整到生长温度。

PS：蓝宝石基底不便宜啊，硅片就可以了。

是想在蓝宝石基底上做出碳纳米管薄膜的。

我之前相同的参数做出过，但最近都没做出来，不知道为什么。
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6楼2014-08-07 07:56:35
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qhl635408756

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 翔弟 at 2014-08-06 17:13:03
Ni多厚？ 建议在下面先镀个缓冲层。然后才镀Ni。 用的什么炉子？

应该是1到3nm。

是在蓝宝石上做碳纳米管薄膜，镀缓冲层会不会影响透过率？

用的是科晶的真真空CVD生长系统。
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7楼2014-08-07 07:58:37
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翔弟

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by qhl635408756 at 2014-08-07 07:58:37
应该是1到3nm。

是在蓝宝石上做碳纳米管薄膜，镀缓冲层会不会影响透过率？

用的是科晶的真真空CVD生长系统。...

能说一下你的工艺步骤么？
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9楼2014-08-07 14:23:12
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翔弟

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by qhl635408756 at 2014-08-07 07:58:37
应该是1到3nm。

是在蓝宝石上做碳纳米管薄膜，镀缓冲层会不会影响透过率？

用的是科晶的真真空CVD生长系统。...

而且 炉子之前需要空烧一次。
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10楼2014-08-07 14:24:57
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